日本标准用薄膜测厚仪技术

日本标准用薄膜测厚仪技术

　　工业生产的薄膜，其厚度是一个重要的参数。在实际的应用中，测量薄膜的厚度的方法有很多。

　　薄膜；厚度；测量；方法；光学；非光学

什么是薄膜厚度

　　通常情况下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离，而实际上，薄膜的表面是不平整，不连续的，且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类：形状厚度，质量厚度，物性厚度。形状厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离；质量厚度指的是薄膜的质量除以薄膜的面积得的厚度，也可以是单位面积所具有的质量(g/cm2)；物性厚度指的是根据薄膜材料的物理性质的测量，通过一定的对应关系计算而得到的厚度。

　　薄膜测试仪连续测厚机FT-A200/FT-A200R

　　配备高精度测量头和放大器单元的机器。

　　只需设置从生产线切出的薄膜，即可轻松连续测量厚度。

　　FT-A200 测量范围/10μm至200μm

　　FT-A200R 测量范围/3μm至100μm

　　测量分辨率/0.01μm