液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍

发布日期：2022-06-16 浏览次数：532

液晶面板材料用表面缺陷检测设备介绍

表面缺陷检测设备（一般）




应用流传已久的魔镜(透光镜)原理，达成实时检测镜面平板基材表面状态的装置。受世界各地的矽晶圆厂所用。

非接触、非破坏性的检查，以及免维护的光学系统根据选配，可追加表面缺陷自动判定影像处理软体、自动化搬运装置、影像储存、影像列印等功能。



1、即时显示所有表面状态。

2、光学系统对应等级１

3、学系统无须维护。

4、根据检测内容，可修正检测灵敏度。

询问此产品的型录

检测尺寸	从φ100mm至φ300mm
检测内容	平坦度、凹洞、凸起、刮痕、橘皮等
检测倍率	1x / 3x 模式可切换（标准设备）
检测灵敏度	检测灵敏度可连续调整
使用光源	550nm　（固定照度之稳定光源）
镜头	高解析度CCD镜头
平台	手动平台（标准设备）


用途

镜面晶圆的表面检测

滑线检测

玻璃基板检测

其他镜面基板检测


选配

电动马达检测平移台

自动判定缺陷影像处理装置

影像列印机

搬运装置