智能真空计SC-10的原理及操作使用

智能真空计SC-10简述

SC-10智能真空计是我们开发的一种全新的方法，它是一种自动真空计，可以同时测量残余气体成分和全压真空度。
全压真空是从大气压到10-7Pa的超高真空，当总压达到50Pa左右时，气体成分的分压自动启动，可以从10-5Pa左右测量到10- 6帕。
可以测量气体成分并检查粗压区域的泄漏，这是传统气体分析仪无法做到的。

智能真空计SC-10原理



频谱模式屏幕

SC-10 通过测量总压力的冷阴极计的放电颜色来区分气体成分。利用光的颜色（波长）根据气体成分而不同的事实来测量成分。在 SC-10 的光谱模式屏幕上也可以看到气体成分的波长。

由于气体成分测量单元设置在大气压侧，因此不会被真空中的气体污染，可以进行不受污垢影响的测量。此外，冷阴极规没有灯丝，因此可用于坚固耐用的应用。






智能真空计SC-10操作使用

由于智能真空计可以测量残余气体的成分，因此可以快速了解真空装置的良好状况，例如排气中途的泄漏和水蒸气脱气等。下两图是同一装置的不同排气数据，但图一为正常排气，以水蒸气为主要成分，确定总压真空度，而图二中，氮气为泄漏所致。可以看出，从开始下降排气约 5 分钟后停止，如果继续排气，则在约 10 分钟后氮气量变得比水蒸气多，总压力真空停止。通过使用智能真空计，您可以快速找出仅通过监测全压真空度无法理解的排气异常及其原因。



图1





图 2



您不仅可以使用智能真空计找到泄漏点，还可以喷洒氦气或氩气来查找泄漏点。图 3 显示了智能真空计在泄漏点喷氩时的数据，但可以看出，由于氩气增加和氮气减少，此处存在泄漏。停止泄漏后，如图4所示，氮气和氧气减少，水蒸气成为主要成分，成为典型真空装置的残余气体成分。



图 3





图 4

只需打开它并将其连接到您的PC，无需其他操作。SC-10内置的全量程真空计测量从大气压到超高真空的总压力，当总压力达到约50Pa时，自动开始残留气体成分的测量（分压测量）。
不用担心，当您恢复到大气压时，气体成分测量会自动关闭。