质量流量控制器的原理与结构

发布日期：2022-08-08 浏览次数：851

质量流量控制器的产品概述

质量流量控制器通过测量流体的质量流量来控制流量，因此无需对环境温度或工作压力的变化进行补偿，高精度稳定的流体测量和控制是可能的装置。在流量计、针阀等体积流量控制中，当需要一定量的精确流量时，需要对温度、压力等的变化进行补偿。质量流量控制器/质量流量计用于半导体和平板显示器等需要高精度流量测量和控制的领域，以及分析、燃料电池、液晶、有机EL、生物、培养、食品、环境测量、燃烧气体，广泛应用于控制、工厂设备、实验设备等所有过程和装置。F-CON 的质量流量控制器/质量流量计是专门从事基本功能的低价产品，同时通过我们追求基本性能的技术降低成本并提高产品性能和可靠性，使其可用于广泛的领域。我正在寻找制造。

质量流量控制器的原理与结构

质量流量控制器的基本结构由流量传感器、旁路、阀门和控制电路组成，如下图所示。

常用的传感器称为热传感器，其中电流施加到缠绕在不锈钢毛细管上游和下游的电阻器上以产生热量。当没有气体流动时，上游和下游电阻器热量保持平衡，流量输出信号指示为零。

从入口进入的气体被转移到传感器并旁路。当气体流入传感器时，上下游电阻之间会产生温差，导致热平衡崩溃，传感器的温度分布发生变化。这种变化被桥式电路捕获并作为流量输出信号取出。然后，将外部输入的流量设定信号与传感器流量输出信号进行比较，流量控制阀进行PID运算（比例、积分、微分）使各自的信号电平匹配，阀门自动自开启阀门的流量经过微调，可以在设定的条件下始终控制流量稳定的流量。



■ 质量流量控制器的结构







■ 关于流量传感器的温度分布

使用质量流量控制器时的注意事项



●一般情况下，即使流量设置为零或强制关闭，质量流量控制器也无法*关闭气流。大多数质量流量制造商基本上不保证控制流量范围之外的控制。

●使用时，建议在质量流量控制器前安装阀门。这样，可以使用质量流量控制器来设定流量，通过打开和关闭阀门可以打开/关闭气体。另外，质量流量控制器的流量一经设定就不会改变，所以总是再现相同的设定流量。

●即使在气体流动时流量频繁变化，也建议安装阀门以*切断气体流动。

■左图为阀配置流程示例。