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等离子处理装置PCU-30的去污效果
PCU-30 是一种从电子显微镜样品观察中去除污染物并提高分辨率和分析性能的设备。低功率射频 13.56MHz 激发等离子体照射可实现抑制样品损坏的高效清洁。
可以对 TEM、SEM、FIB 样品、样品架和隔膜进行防污染处理。腔室排气是一个*清洁的排气系统，带有涡轮分子泵和涡旋泵。在产品设计中融入了紧凑、节省空间和简单的操作，是一款用户友好型节能设备。
支持空气、氩气、氩氧和各种其他处理气体。射频供电功率最大小于50W，高频供电无需上报。
在 SEM 观察中不存在污染附着问题吗？PCU-30 用于清洁样品中的污染物并进行重复观察。
样品：金沉积颗粒
SEM：Hitachi S-4100 (15KV)
SEM 观察 电子束照射造成的污染和等离子照射造成的污染去除（第一次）。
（RF 激发的 Ar 等离子体，20 Pa/30 W/4 分钟辐照）
SEM观察 电子束照射污染的再沉积和等离子照射去除污染（第二次）。
（RF 激发的 Ar 等离子体，20 Pa/30 W/4 分钟辐照）
