热式微型液体流量计F7M与传统流量计的区别
通过将热敏 MEMS 传感器与高耐腐蚀石英玻璃流路相结合,我们实现了数 mL/min 的微量液体流量测量,这是使用传统测量方法难以测量的高再现性。
开发理念易于使用,因为它不易受流体状态变化(气泡、脉动、流体温度等)的影响,并且易于针对被测流体进行校正(校正基于热导率流体)。通过测量瞬时流量和累计流量代替泵转速、重量测量和流体供应时间管理等替代方法,可以根据更可靠的测量值在制造过程中进行质量控制和过程异常检测。
与传统流量计的比较
采用利用MEMS传感技术的热测量原理,可以测量过去难以稳定测量的几mL/min的微小流量。
(测量流量范围:0.1~10mL/min、0.3~30mL/min、0.5~50mL/min)
它比传统产品更小、更轻。
不需要单独的转换器(放大器)。
它可以使用随附的安装支架从顶面(用于水平管道)轻松安装。
也可安装在垂直管道中(流向:底部→顶部)。
由于流道是直的,压力损失小,无积液,清洗方便。
符合IP65防护结构。
由于产品外表面未使用金属材料,因此可用于易受液体飞溅的环境,提高了对腐蚀性流体的耐受性。
接液部分由石英玻璃(流路)和氟树脂(接头)组成,传感器不与液体接触,因此可用于多种流体(不腐蚀石英玻璃或聚四氟乙烯的流体)。
测量范围因流体的热导率和密度而异,但可以使用校正功能来匹配输出特性。