可测量残留气体成分的真空检测技术分析

发布日期：2023-02-20 浏览次数：247

可测量残留气体成分的真空检测技术分析

SC-10智能真空计是我公司开发的一款全新的全自动真空计，既可以测量残余气体成分，又可以测量全压真空。总压真空度从常压到10-7Pa的
超高真空，当总压达到50Pa左右时，气体组分自动开始分压，测量从10-5Pa左右到10-6Pa霸是可以的。可以在粗抽压范围内测量气体成分并进行泄漏检查，这是传统气体分析仪无法做到的。

・通过监测残留气体成分，可以监测真空设备的健康状况，并立即发现异常情况。
・可以测量真空度（全压）和气体成分（分压）的单体。





智能真空计可测量残留气体的成分，让您在抽真空过程中快速了解真空设备的健康状况，如泄漏、水汽脱气等。下面两张图是同一台设备的不同抽气数据，图1是正常抽气，水蒸气是决定总压真空度的主要成分，而图2是因漏气而使用氮气。开始向下抽真空约5分钟后停止，如果继续抽真空，约10分钟后氮气超过水蒸气，全压真空度停止下降。通过使用智能真空计，您可以快速发现通过监测总压力真空无法检测到的排气异常及其原因。

使用智能真空计，您不仅可以知道是否有泄漏，还可以通过吹氦气或吹氩气找到泄漏的位置。图3为Smart Vacuum Gauge Gauge当氩气吹到泄漏点时的数据，可以看出由于氩气增加，氮气减少，这里出现了泄漏。堵漏后，如图4所示，氮气和氧气减少，水蒸气成为主要成分，是典型的真空设备残余气体成分。





只需打开它并将其连接到您的 PC，无需其他操作。SC-10 内置的全量程真空计测量从大气压到超高真空的总压，当总压达到约 50 Pa 时，将自动开始残留气体成分的测量（分压测量）。
即使恢复到大气压力，气体成分测量也会自动关闭，因此无需担心。