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valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

  • 发布日期:2023-03-22 浏览次数:318
    • valcom传感器在半导体和电子相关应用示例

      管理各种压力(供气/排气、大气压回流、泄漏、清洁)、真空压力和各种成型载荷(表面、抛光、装配)。

      各种设备的压力监控(例如蚀刻/CVD等)

      各种设备的压力监控(例如蚀刻/CVD等)
      • 1供气压力监测

      • 2确认燃气面板管道泄漏

      • 3确认真空到达腔室

      • 4确认腔室内恢复到大气压

      • 5检查涡轮泵切换的真空压力

      • 6废气处理设备压力监测

      压力传感器

      • VSST(SF/RR/WT/WF)

      • HS1/HV1

      • VSHS/VSHT

      • VCCP

      指示器

      • 缤彩 F3 (过程输入)

      • VSM3B

      • VMM7(进程输入)

      • VMM6(进程输入)

      纯水压力监测

      纯水压力监测

      压力传感器

      • VESV/VESI

      • 维西姆□□A

      • VPRF (过程输出)

      指示器

      • 缤彩 F8 (过程输入)

      • VSM3B

      • VMM7(进程输入)

      • VMM6(进程输入)

      半导体前端工艺抛光期间的负载控制

      半导体前端工艺抛光期间的负载控制

      负荷

      • VLS

      • VLSS-C

      指示器

      • 华彩F3(应变片输入)

      • VGM

      • VGM2A/B

      后处理成型期间的负载监控

      后处理成型期间的负载监控

      负荷

      • VLC-G811

      • VLC-G510A

      • VU93

      指示器

      • 华彩F3(应变片输入)

      • VGM

      • VGM2A/B

      • VGM4

      各种圆盘表面抛光期间的负载控制

      各种圆盘表面抛光期间的负载控制

      负荷

      • VLS

      • VLSS-C

      指示器

      • 华彩F3(应变片输入)

      • VGM

      • VGM2A/B

      各种电子元件的压力负载监控

      各种电子元件的压力负载监控

      负荷

      • VLC-G811

      • VLC-G510A

      • VU93

      指示器

      • VLGM4

      • VGM

      • VMM7 (应变片输入)

      • VMM6 (应变片输入)



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