thermocera基板加热的加热器介绍

thermocera基板加热的加热器介绍

用于PVD（气相沉积/溅射）和CVD等真空薄膜实验的“超高温基板加热加热器"
具有优异的均匀性，温升特性和可控性，并且易于操作。

• BH加热器：用于大学研究机构。 采用康塔尔和C/C复合材料。 外壳和防护罩作为标准设计，以实现较短的交货时间和低廉的价格。

• VH加热器：采用SiC3，TiC3涂层，PG / PBN扩大了应用范围。 与BH一样，零件和材料是标准化的，以实现较短的交货时间和低廉的价格。

• HT加热器：为超高温区域定制的加热器。 此外，即使在恶劣的条件下，也可以实现稳定均匀的加热。 我们每次都会根据您的要求进行设计。

• SH加热器：由于气密结构，材料和沉积物不会渗透到内部，并且可以长时间进行稳定的加热。 推荐用于 CVD 实验。









BH基板加热加热器

PVD、退火、高温样品台等
Φ1英寸、Φ2英寸、Φ4英寸

• 康塔尔（最高 800°C）

• C/C 复合材料 （最高1600°C）

• 钽（最高1200°C）









VH基板加热加热器

PVD，高压/特高压，惰性/反应气体
Φ2英寸，至Φ6英寸

• 碳化硅涂层（最高 3°C）

• TiC3涂层（最高1600°C）

• PG/PBN（最高1200°C）









HT基板加热加热器

定制加热器
，用于超高温Φ1英寸至Φ6英寸

• C/C 复合材料 （最高1700°C）

• 碳化硅涂层（最高 3°C）

• TiC3涂层（最高1900°C）






SH基板加热加热器

CVD，高压/特高压，惰性和反应性气体
Φ1英寸至Φ6英寸

• 镍铬线铬镍铁合金板（最高 850°C）

• 钨丝 BN 板/钼盖 （最高1100°C）









HS 热舞台

PVD，高压/超高压，惰性/反应气体
Φ2英寸至Φ8英寸

• 有关加热器部件，请参阅 VH、HT









昆士兰灯加热加热器

卤素灯加热器单元

Φ4英寸或Φ6英寸

• PVD 灯加热单元

• 优异的升温特性和均匀性。