磁控溅射仪/喷金仪的使用原理分析

发布日期：2023-04-10 浏览次数：667

磁控溅射仪/喷金仪的使用原理分析

磁控溅射仪是一种利用物理气相沉积的方法在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）薄膜的设备，常用于扫描电镜（SEM）的样品制备以及电极制备。它可在较短时间内形成具有细粒度的均匀薄膜，最常见的靶材是金靶，所以磁控溅射仪也俗称“喷金仪"。

在封闭腔室中，放置阳极靶材，充入气体，保持一定的真空度，在阳极和阴极之间加载高压，会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散，并在样品上沉积，最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电，减小热损伤，提高二次电子产率，从而改善扫描电镜观察效果。



该设备专用于贵金属薄膜涂层，用于SEM观察。 该装置进行贵金属涂层，以防止SEM样品充电并提高二次电子生成的效率。 除了使用磁控管靶电极进行低压放电外，样品台是浮动的，减少了电子束流入造成的样品损坏。 操作简单，只需按一下按钮，就没有技巧。 它很小，不占用太多空间。 它在桌子的角落很有用。
用途

用于 SEM 样品的金属涂层设备。

特点

●磁控型溅射，采用较低外加电压减轻样品的离子损伤。

●真空度调节：适合磁控离子溅射的真空度是 6-8Pa,MSP-1S 通 过机械泵抽泣与泄露阀漏气的平衡，使样品仓自动保持在适合的 真空度范围内，不需要手动做压力调整。

●浮动样品台设计：样品台是浮动型并与样机电机绝缘，可让电子 不通过样品而使温度上升很少。

●占地面积：台式设计，内置机械泵，只需要有 20cm×40cm 的占 地面积，重量只有 14.6Kg。