alnair labs硅片厚度测量仪的工作原理

发布日期：2023-04-26 浏览次数：197

alnair labs硅片厚度测量仪的工作原理

随着近年来我国半导体相关产业的发展，产业相关的检测需求日益增多。Precitec在半导体检测领域深耕多年，在半导体非接触式在线、离线检测方面有多种多样的应用，致力于帮助大家解决行业痛点，特别是高精度、高环境标准要求的检测问题。



由于红外光的波长相对于可见光的波长更长，在半透明体中具有更长的传播距离，因此通常被应用于半透明薄膜、硅片、蓝宝石的厚度检测。特别是在硅片的研磨和抛光的工艺过程中，硅片的一侧为磨盘，只有单侧可以安装检测设备，因此该检测方式常用于在线检测设备当中。



• 高灵敏度实时测量硅衬底厚度

• 高速扫描高纯度可调谐光源，用于干涉测量

• 波长扫描方法可实现高灵敏度测量。