半导体和LCD行业用CMP浆液搅拌设备的特点

发布日期：2023-05-05      浏览次数：228

半导体和LCD行业用CMP浆液搅拌设备的特点

在搅拌CMP浆液时，我们希望消除由于空气夹带而导致的质量变化。

半导体工厂始终使用搅拌器来防止CMP浆液分离。 但是，当化学罐的液位变低时，搅拌器的转速变得太强而无法搅拌液体，并且会发生空气滞留，从而引起质量变化引起的产品缺陷等问题。

由于质量和产品缺陷的变化，有相当大的损失，如果能够预防，缺陷率可以大大提高。




TCMD型搅拌器，根据CMP浆液液的液位实现搅拌器的速度控制

液体体积可以用液位计或称重传感器测量。
转速可通过液位计、称重传感器等的外部信号（4~20mA或1~5V）控制，防止质量变化和化学品罐内空气滞留。