ulvac电离真空计故障排除

发布日期：2023-05-10 浏览次数：374

ulvac电离真空计故障排除




1. 由于灵敏度是用氮气校准的，如果残余气体的主要成分不是氮气，它将显示与实际压力不同的值。

2. 在测量含有氧气和水蒸气的气体时，灯丝会发生严重的反应和劣化。
   必须使用较低的发射电流来减少磨损，或者在表面上使用三重涂层的灯丝。

3. 当测量低于 10-4Pa 的压力时，必须对测量元件本身进行脱气。
   当开始脱气时，由于大量排放的气体，压力增加，相反，它可能会污染测量设备。 确保在 10-4Pa 或更低的范围内脱气。

4. 如果产品在高压下连续使用（三极管类型：10-1Pa或更高），灯丝会严重磨损，无法获得恒定的发射电流。

故障清单

1.测量装置的灯丝不亮

2.测量装置的灯丝发出异常光（比平时更亮）
3.灯丝点亮但不显示压力

4. 灯丝亮了一会儿，但很快就消失了

5.读取值摇摆不定

6.指示值与预期压力明显不同
7.无设定点信号输出

1.测量装置的灯丝不亮。

原因	怎么办
断丝	更换测量仪器
断开测量仪电缆	维修、更换测量仪电缆
由于高压	使用皮拉尼真空计检查压力
灯丝选择开关配置错误	选择合适的灯丝

2.测量装置的灯丝发出异常光（比平时更亮）

原因	怎么办
断开测量仪电缆	维修、更换测量仪电缆
控制器故障	请求维修
测量装置劣化	更换测量仪器

3. 灯丝点亮但不显示压力

原因	怎么办
断开测量仪电缆	维修、更换测量仪电缆
控制器故障	请求维修

4. 灯丝亮了一会儿，但随后迅速熄灭

原因	怎么办
保护电路工作是因为被测压力很高	使用皮拉尼真空计检查压力
控制器故障	请求维修

5. 读数值波动

原因	怎么办
连接测量设备的连接处有真空泄漏	更换测量元件或改善连接处的真空泄漏
测量设备上的污垢	更换测量仪器
测量电缆正在振动	如果测量装置电缆不断振动，则测量单元电缆内部的摩擦力可能会导致指示值交错，应重新考虑电缆安装方法。

6.读数值与预期压力明显不同

原因	怎么办
发生漏电流	由于测量器上的污垢，测量设备电缆绝缘不良而更换
・灵敏度系数设置不同 ・被测气体不是氮气或空气。	检查手册并正确设置
压力真的和预期的不一样	通过其他真空计确认

7. 无设定点信号输出

原因	怎么办
更换控制器内继电器	继电器故障 → 请求维修
发射电流未正常。	当发射变为NG时，设定值信号的输出也被取消。 →更换测量元件

停止发射电流的原因和对策

原因	怎么办
高压（超过10-1帕），	检查排气系统
断丝	更换测量仪器
长丝磨损	更换测量仪器
测量设备内部的污垢	更换测量仪器
测量设备电缆接触不良或断开	重新连接或更换测量仪电缆
控制器中电源电路故障	请求维修