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洁净室内是否有大于5μm的粉尘?

  • 发布日期:2023-06-06 浏览次数:205
    • 洁净室内是否有大于5μm的粉尘?

      粒子计数器的评估有限制。
      洁净室和洁净室的评估通常使用粒子计数器。 这是因为目标微小粒子是不可见的。 然而,典型粒子计数器的最大粒径为5μm。 实际上,5μm~100μm的范围肉眼是不可见的,但实际上,颗粒计数器并不清楚这个范围内是否有灰尘。

      5μm以上的垃圾堆积

      在洁净室中看不见的灰尘中,真正麻烦的是尺寸小于1μm的微观颗粒。 这是因为它不会永远落在地上,而是漂浮,并被这里和那里的人的运动所吸引。

      然而,洁净室技术的进步使得控制这种微量废物相对容易。 HEPA过滤器是其中的核心。 去除超过 99.97% 大于 0.3 μm 的颗粒。 洁净室通过该HEPA过滤器以及气流,正压,通风等的作用去除微小的碎屑。

      然而,5~100μm的垃圾几乎肉眼看不见,而是在气流上漂流,而是下落并堆积。 如果你把它放在无人看管的地方,洁净室的内部会在你不知不觉中充满垃圾。

      然后,在某些时候,它会粘附在工件上并导致缺陷。

      对5μm以上的垃圾有效清洗

      事实上,我们早就知道这一点。 例如,在半导体工厂中,地板通常具有光栅结构,这样垃圾就不会积聚在地板上,而垃圾会掉落在地板下。 此外,洁净室的四个原则是“不堆积"和“清除"。 清洁是处理这种大小的垃圾的有效方法。 但问题是垃圾是看不见的!

      5μm以上的垃圾从何而来?

      让我们在项目符号中列出主要的。

      1.脏空气从外部进入

      2. 工人产生粉尘

      3. 洁净室工具和设备(固定和操作)产生的粉尘

      4. 带入并产生附着在原材料、包装材料等上的垃圾

      5. 无尘室中堆积的垃圾的重新漂浮 我认为根据工艺和工件的特性,还有其他各种原因。最重要的是,只有项目1可以在洁净室中直接解决。

      对于10,000级用户,更重要的是采取5μm或更大的垃圾防护措施

      10,000级洁净室用于许多行业和工艺,但我认为有很多情况的共同特征是以后无法去除灰尘,例如“粘贴",“绘画",“印刷",“气相沉积"和“粘合"。 并且在许多情况下,与这种良好产品率相关的垃圾大小为5~100μm。

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      不要忽视5~100μm的灰尘!

      让我们总结一下上面的故事。 以万级环境为目标的粉尘~颗粒,根据其大小可分为三种类型。 1.有三种类型的可见垃圾,可见尺寸~2.100μm至5μm,不可见尺寸约3.5μm至0.3μm,无法用粒子计数器测量。 在一般环境中,看不到可见的垃圾 2.3. 在洁净室中,除可见垃圾外,3.可通过洁净室功能清除微小垃圾。 但是,不容忽视的是5~100μm的灰尘。 如果不通过清洁去除,则洁净室本身无法将其清除。

      让我们通过垃圾的“可视化"来清除垃圾!

      帮助可视化垃圾的工具是极化洁净室灯。 在良好的条件下,这种光可以在洁净室中看到多达约10μm的灰尘。 粘附在洁净室地板和墙壁上的灰尘,洁净室的窗帘,洁净室中漂浮的灰尘,粘附在工件表面的灰尘,工件上的划痕,例如裂纹,外观缺陷等。
      审查洁净室清洁真的很容易,这根本不是设计出来的,只是按照规定进行的。
      使用此灯检查洁净室是否清洁。

      当光线以约45度的角度照射时,附着在无尘室的地板,墙壁,设备和工件上的微小灰尘似乎漂浮起来。
      对于玻璃等透明工件,从背面应用也很有效。
      但是,另一方面,如果表面形状很大并且不均匀度漫射和反射光线,则无法看到状况良好的情况。 (人体、喷砂、着色塑料、涂漆等)。

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      使用Polarion洁净室灯进行“可视化"

      一旦你可以“检查当前情况"“对策"

      极化洁净室灯≪型号:NP-1≫是C的洁净室灯系列中使用HID光源的强大的手持灯。

      如果条件良好,您可以在清洁规则中看到约10μm的灰尘。 它还突出显示了洁净室中的漂浮物,粘附在地板,墙壁,窗帘和洁净室工件上的污垢,划痕等。 它是清洁不可少的物品。


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