水蒸气双液清洗与超声波/高压清洗异物去除率比较

水蒸气双液清洗与超声波/高压清洗异物去除率比较

水蒸气双流体清洗与超声波/高压清洗（从超音速喷射喷嘴（OLED）以超音速喷射和清洗蒸汽和液体）的去除率比较

异物去除率（OLED）比较



与OLED玻璃板清洗的比较

测量有机EL制造过程中附着在各薄膜上的异物去除率的数据，证实了与超声波+高压清洗相比的压倒性差异。 异物的去除率直接影响产量。

蒸汽2流体清洗机组基本信息|SSC系列

特点	无刷子等耗材，大大降低运行成本
	仅使用“纯水"
	显著减少化学品的使用
	显著提高清洁能力
	也用于清洁半导体
基本配置	无金属污染的蒸汽发生器
	超声波蒸汽喷射喷嘴
	与洗衣机的沟通
蒸汽发生器	蒸汽产生量：2~100kg/h * 可提供与所需蒸汽量相对应的尺寸。
	电源： DIW， N2， CDA， 200VAC 或 100VAC
	蒸汽压力控制范围：0.05-0.3MPa
应用/成就示例	【应用】 ・太阳能电池基板的清洗 ・LED制造中的金膜剥离 ・半导体制造工艺 ・玻璃基板等的清洗 ・异物和聚合物的去除 ・去除油脂、指纹等 ・医疗应用 ・美容应用