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质量流量控制器是一种流量控制装置，用于测量质量流量并自动控制设定的流量。 虽然有两种测量流体的方法，质量流量（重量）和体积流量（体积），但质量流量控制器可以精确测量和控制质量流量，而不受温度和压力波动的影响。 因此，它被广泛用于半导体制造工艺、分析设备和其他需要高重现性和准确性的场合。
质量流量通常使用热传感器和科里奥利传感器来测量质量流量。 热传感器使用温度随流体流动而变化的原理来测量质量流量。 另一方面，科里奥利传感器检测由流体振荡引起的科里奥利力，并相应地测量质量流量。 有必要根据流体（气体/液体）和使用条件选择方法。
典型热质量流量控制器的主要部件是流量传感器、控制阀和旁路。 该操作将按照以下过程自动执行。
加热质量传感器并测量流体运动（质量流量）
桥式电路将质量流转换为电信号
放大由运算放大器转换为电信号的质量流量信号
AD/DA转换器转换为数字信号
将设定的流速与算术电路中的电流流速进行比较
用于驱动阀门执行器的PID控制
重复1~6（反馈控制）
热式质量流量控制器的流量传感器原理如下：
不锈钢毛细管缠绕着两根电热丝，在相同的温度下加热。 这些加热丝位于流体流动的路径上。
当气体停止时，上游和下游的电热丝将保持相同的温度，不会失去平衡。
然而，当气体流动时，上游电热丝被剥夺了气体的热量，并且平衡随着它向下游流动而改变。
为了检测这种变化，使用安装在毛细管中的桥式电路。 桥式电路是用于测量电信号并比较来自上游和下游电热丝的信号的电路。
由于气流引起的平衡变化通过电桥电路转换为电信号。 该信号以质量流量测量。
热质量流量控制器使用这种基于热量的测量原理测量流量。 该测量的流量信息被反馈到后续控制电路，并通过阀门的控制进行控制动作以使流量更接近设定值。 根据流量传感器的设计和技术，每家公司的质量流量控制器可能具有不同的功能。
Lintec的质量流量利用其的低温传感结构，开发了第一个液体质量流量控制器，包括气体流量控制。
Lintec的质量流量控制器采用低温传感结构（环境温度补偿传感器），可实现高精度和高速测量。 该传感器的原理是一种的结构，它将环境温度反馈给流量传感器，因此流量传感器的温度不会超过必要的上升。
对传感器的热损伤较小（使用寿命长）：低温传感结构可降低流量传感器的温度。 这样可以减少对传感器的热损坏并延长物理使用寿命。
流体热分解风险低（可控制臭氧等）：由于测量温度低于一般质量流量控制器，因此非常适合臭氧等热分解风险高的气体的流量控制。 热量对流体的影响可以最小化。
高速流量控制：与传统的热传感器相比，低温传感结构提供了压倒性的响应速度。 在需要快速流量控制时具有出色的性能。
这种低温传感结构实现了高精度、高速的流量测量和控制。
气态气体的质量流量控制器有时缩写为气体质量。 这是一种为精确控制气体流体而开发的流体控制装置，出现在液体质量流量控制器之前。 根据波义耳-查尔斯定律，气体在温度和压力的影响下会改变其体积，而气体质量流量控制器提供精确的流量测量，而不受温度或压力的影响，并且可以通过内置控制阀通过设定的流量自动控制。 主要使用恒压比热的热质量流量控制器是主流。
液体质量流量控制器，缩写为液体质量，是为精确的液体流量控制而开发的。 Lintec开发了第一个热液质量流量控制器，为半导体行业的技术创新做出了贡献。 除了热型外，还有科里奥利型和差压型等方法。
总结
气体质量流量控制器是一种专用的气体流体控制装置，可实现精确的流量控制，而不受温度或压力的影响。
液体质量流量控制器，缩写为液体质量，可实现精确的液体流量控制。 林泰研发出第一台热液质量流量控制器。
| 长处 | 型 | 通信标准 电源 |
温度 响应速度 精度 |
用法 关键字 |
|---|---|---|---|---|
 fastMFC |
MC-7000 | 设备网 以太网 DC24V 电源 |
5~50°C 0.2秒 ±1.0%标准/点 |
半导体薄膜沉积原子 层沉积 |
 EtherCAT MFC |
MC-5000C | 以太网直流 24V电源 |
5~50°C 1秒 ±1.0%安全点 |
半导体薄膜沉积原子 层沉积 |
 DeviceNet MFC |
MC-5000L | 设备网 DC24V电源 |
5~50°C 1秒 ±1.0%安全点 |
半导体薄膜沉积原子 层沉积 |
 精密数字MFC |
MC-3000L | RS-485 模拟0~5V±15V 电源 |
5~50°C 1秒 ±1.0%安全点 |
半导体 薄膜 沉积分析仪 |
 高温MFC |
MC-3000L-TC | RS-485 模拟0~5V±15V 电源 |
最高120°C 1秒 ±1.0%F.S. |
半导体 沉积 液化气体 分析仪 |
 |
MC-3000S | RS-485 模拟0~5V±15V 电源 |
5~50°C 1秒 ±1.0%度 |
半导体 沉积 液化气 固升华 |
 |
MC-700 | RS-485 模拟0~5V±15V 电源 |
15~35°C 1秒 ±1.0%度 |
半导体 薄膜 沉积分析仪 |
 低价MFC |
MC-10 | RS-485（可选） 模拟0~5V±15V 电源 |
15~35°C 1秒 ±1.0%度 |
惰性气体 分析仪 |
