lintec小型气体换热器的特点及产品介绍
各种流体加热
可靠的渣滓加热
质量流量控制器后气体加热
SUS316L加热块可防止加热器与流体直接接触,从而可以瞬时加热不会腐蚀SUS316L的流体。
在管道中流动的气态流体很难轻易加热和冷却。
通常,管道中的流体加热通过带式加热器从管道外部加热,但从外部加热使热量难以传递到中心。 热交换器 (HX) 可以立即将气体加热到流体中,从而实现可靠的流体加热。
在半导体制造过程中,不仅需要加热气体,还需要以受控的流速加热气体。 因此,为了使用燃气加热器初级侧的质量流量控制器控制流量,需要级联加热器(二次侧)的低压降。 质量流量控制器制造商 (LINTEC) 的气体加热器 (HX) 具有低压降结构。
小型燃气加热器 [HX-0020]
最大流量:10SLM
最高:200°C
高温换热器 [HX-0051H]
最大流量:20SLM
最高:300°C
小型换热器 [HX-0050A]
最大流量:50SLM
最高:200°C
高温换热器 [HX-100C]
最大流量:100SLM
最高:300°C
高温燃气加热器 [HX-301L]
最大流量:250SLM
最高:300°C
高流量换热器 [HX-300C]
最大流量:300SLM
最高:250°C
加热过滤器 [VF-0201N]
最高:200°C
过滤器 0.1μm