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orbray光学干涉式内周面精密测量机测量原理分析
宽带光源 (SLD*) 的输出光（近红外光）是多种波长的光
*SLD：超级发光二极管宽带和相位对准光源
由于作为基准面的石英管表面反射的光与工件内周面反射的光之间的光路长度不同而发生光学干涉。电机旋转的扫描镜会受到旋转系统振动的影响，但可以通过使用固定的石英管作为参考来消除振动的影响。
通过光谱仪将干涉光分成波长，得到各波长的光强度（光谱干涉法）
获得的波形通过专用软件进行分析处理，对尺寸、形状、标准等进行测量并进行3D显示。
光具有波动性。作为波的一种特性，相同波长的波重叠会产生新的波形。这称为干扰。根据波重叠的时间（相位），波相互增强，新波的大小（振幅）增加，或者相反，它们相互削弱并减小。
由于光的波动性，光的干涉=光学干涉。
峰峰、谷谷重叠=同相→干涉光最大
峰谷重叠、谷峰重叠=反相→干涉光最小
不同波长的光重叠→互不干扰
在使用光学干涉的测量仪器中，参考表面反射的光和被测量物体表面反射的光相互干涉。光谱干涉测量法中使用的宽带光源(SLD)包含多种波长的光，各波长的反射光会产生干涉。此时，当光路距离（基准面与被测物体之间的往复距离）为波长的整数倍（波数为整数）时，该波长处的干涉光最大。由于SLD光的波长具有宽度，因此出现干涉光最大的一些波长。当测量距离改变时，使干涉光大化的波长组合发生变化。
当用分光镜将得到的干涉光按波长分离时，最大波长亮，最小波长暗，出现干涉条纹（亮和暗）。在光谱干涉法中，通过分析干涉条纹的光强来测量参考平面与被测物体之间的距离。
目前，航空航天设备用燃油喷嘴、医疗设备用中空零件、分析仪用精密喷嘴、流体轴承等精密孔加工零件得到广泛应用，评价其内周面的重要性正在迅速增加。
对于内径较大的零件，可以使用内径测量机、圆度测量机、粗糙度/形状测量机进行测量和评价，但对于气孔，不要将零件分成两半。无法测量。
我们开发了内表面测量机NMH-02，它利用近红外光的光学干涉，实现了“以前看不到的毛孔内表面的可视化"。
配备我们最小的 φ0.9mm 电机、采用我们的透光参考管方法的特殊探头以及我们的倾斜校正计算算法，我们实现了以下目标：①最小测量内径 φ1.1mm 同时形状测量（3 ) 重复测量精度 σ = 0.2 μm (4) 实现免设置测量的新概念测量机。可以说，这是我们公司有的产品，拥有超小直径电机技术和光通信技术。
除了能够观察和测量孔的内周表面之外，还可以同时测量以前必须使用专用测量仪器单独测量的内径、圆度、粗糙度和形状。测量时，测量时间可从约30分钟/工大幅缩短至约30秒/工，极大有助于客户测量吞吐量的提高。
