orbray小型基材清洗机介绍

orbray小型基材清洗机介绍

小型基材清洗机是专门对直径小于2英寸的小型基材进行清洗干燥的设备。
这是第一台能够对小于2英寸的小型基材进行高水平清洗和干燥的设备。
迄今为止，要实现高度的清洁度还很困难，因为对于新材料制成的基板和碎裂基板等小型基板的清洗方法一直无法获得直径为2英寸或以上的晶体。仅限于浸洗等方法。因此，在新材料基板尺寸达到2英寸之前，不可能制造出能够发挥材料原有性能的器件。
为了清洗这样的小型基板，小型基板清洗机除了在LED用蓝宝石基板的制造过程中积累的清洗技术之外，还采用了新开发的小型基板专用的清洗和干燥机构。因此，小型基板清洗机即使对于小型基板也能发挥出高清洗性能，有力地支持了新材料的开发和装置化。

特征

适用于小基材的专用刷



新开发的刷子在去除沉积物方面表现出高性能，并且对小基材的损伤较小




特殊旋转干燥机构



配备特殊的旋转干燥机构，即使对于小型基材也能抑制灰尘产生并实现无水印干燥。

可定制

还可以改变目标基板的尺寸并自动地从一个盒转移到另一个盒。如果您有任何规格要求，请随时与我们联系。

清洁目标

非常适合清洗晶体材料，如 GaN、AlN、金刚石、蓝宝石、光学玻璃、生物芯片等。

洗手间布局



1. 基材转移

2. PCB固定

3. 纯净水冲洗

4. 刷子清洗（使用清洗液）

5. 兆声波清洗

6. 旋转干燥

7. 基材转移

清洁结果示例

<□5mm蓝宝石基板>



<□5mm GaN衬底>



覆盖基材原始表面的磨粒可以通过清洗去除。即使在容易损坏的GaN上也没有形成潜在划痕，并且确认了清洁后没有损坏。

CL：
电子束入射到样品上时的阴极发光发射。通过对这种光进行光谱分析，可以观察晶体中的缺陷。

设备规格

除了以下代表性规格外，还可以进行定制。我们还使用该设备提供合同清洁服务。请随时与我们联系。

设备名称	小板清洗机
清洁方法	单晶圆
工作尺寸	□3mm、□4mm、□5mm、φ0.5"、φ1"、φ2" （可提供φ3"、φ4"、φ6"，其他尺寸可根据要求订制）
洗涤时间（推荐洗涤条件）	2分钟/张（从装料到卸料）
设备配置	基材转移
	擦洗（可调节刷子高度）
	兆声波清洗（频率：950kHz）
	旋转干燥（转速：~3,000rpm）
	HEPA过滤器
装置尺寸（毫米）	480 宽 x 600 深 x 1,680 高
设备重量（公斤）	200
公用事业	气泵（外置）：0.5MPa以上
	纯水（推荐清洗条件）：400ml/张
	电源：100VAC单相1,000W