iwaki泵在半导体和液晶工艺运用中的重要性

发布日期：2023-09-06 浏览次数：197

iwaki泵在半导体和液晶工艺运用中的重要性

在清洁条件至关重要的半导体和液晶工艺中，不得产生或混合颗粒或污染物。易威奇对此类精细工艺所需的超纯水和化学溶液的传输控制技术充满信心。
我们利用丰富的经验和专业知识来满足从化学液体输送应用到各种加工应用的各种客户要求。

解决半导体和液晶领域所需的问题

• 粒子

• 在化学液体转移过程中产生较少颗粒的结构。为超洁净制造工艺做出贡献。

• 污染

• 高流量泵提高了从晶圆表面去除金属和有机污染物的效率。

• 高温液体输送

• 最高耐液体温度180度。兼容CARO(SPM)H3PO4等需要高温液体输送的化学液体。

• 高压传输

• 可提供最大供气压力为 0.7 MPa 的泵。支持各种需要高压放电的工艺。

• 耐用性

• 心脏处的波纹管采用成熟的R型波纹管。可承受高压放电，寿命长。

• 减少停机时间

• 易于维护的结构无需定期重新拧紧双头螺栓。减少停机时间。

• 应用领域

• 化学品供应流程详情

  

• 化学品供应流程

• 泵控制器保持流量和压力恒定。提供稳定的化学品供应。

• 清洗流程细节

  

• 清洗过程

• 专有的无污染结构最大限度地减少了颗粒的产生。

• 照片处理细节

  

• 照片处理

• 步进电机驱动可实现高精度，再现性为 ±0.3% (FS) 或更小。

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• 化学机械研磨工艺

• 易威木的波纹管泵具有高压排放能力，可以毫无问题地输送 CMP 浆料。

• 主要产品提供给半导体和液晶领域

  
  

• 气动低脉动波纹管泵 FLP 系列

  

  
  

• 气动波纹管泵FS-H系列

  

  
  

• 气动波纹管泵FS-N系列

  

  
  

• 自动风门 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W

  

  
  

• 化学补给泵CFD

  

  
  

• 光刻胶分配泵PDS-105R

  

  
  

• 电磁计量泵EWN-W系列（水质控制用）

  

  
  

• 内部液体不可补充的 pH/ORP 传感器 8000 系列

  

  
  

• 化学罐 CT-U (25 – 120L)