产品展示
PRODUCT DISPLAY
技术支持 您现在的位置:首页>技术支持> 露点仪TK-100在半导体芯片生产中的应用

露点仪TK-100在半导体芯片生产中的应用

  • 发布日期:2023-10-21 浏览次数:152
    • 露点仪TK-100在半导体芯片生产中的应用

      测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪。露点仪因所使用的冷却方法和检测控制方法不同,可以分为多种类型。

      露点仪在半导体芯片的生产工艺中起重要监测作用。半导体芯片的生产是在净化间内进行的。净化间规范往往包括相对湿度(RH)这一项,一年内控制点的范围从35%到65%,精度2%(70℃以下)湿度超标会影响产品质量及生产计划的完成。

      在半导体芯片生产区,湿度不稳定,会出现很多问题。最典型的问题是烘干期延长,整个处理过程变得难以控制。当相对湿度高于35%时,元件易被腐蚀。此外,将显影液喷在芯片表面时,显影液迅速挥发,使芯片表面温度下降,致使水汽凝结在芯片表面。凝结水不但会影响显影特性,还会吸收到半导体内,这将导致膨化及其它质量缺陷,还必须增加一些不必要的工艺控制。

      净化间常用的除湿方法有两种。一种是调节空气,另一种是除湿剂。采用第一种方法时,将与净化间气流接触的表面的温度降至气流露点以下。除去析出的冷凝水,将除湿后的空气加热至规定温度后,重新送回净化间。标准冷冻机可保证露点达到+4℃;采用第二种方法时,气流通过吸湿剂,吸湿剂直接吸收气流中的水分,然后将除湿后的空气送回净化间。吸湿剂除湿法可使露点低于-18℃。


      image.png

      TK-100 在线露点仪的传感器,采用的是 静电容量式原理。

      当水分子被夹在两个导电层之间的多孔绝缘层 吸收时,上导电层与下导电层之间的电容将会 产生变化。

      该电容量通过传感器内部电路被线性的转换为露点 的模拟信号。 吸湿水分的绝缘层厚度为 0.5 μm 以下,上层导电金属层厚度为 0.1 μm 以下,即使少量 水分的吸附也可迅速反应。

      拥有如此薄度的同时,传感器仍保持优秀的强韧及耐久性。

      高度可信性的校准/可追溯性

      TK-100 在线露点仪,在严格的温湿度管理下,采用美国 NIST 和具有可追溯性的基准露点仪对各种测量仪器进行校准。

      此外,本公司在-70 ℃ 至-10 ℃的低露点范围领域,被认定为 JCSS※ 校准企业。因此,在传统的 NIST 可追溯性校准的基础上, 可按照 ISO/IEC17025 进行校准。


    联系方式
    • 电话

    • 传真

    在线交流
    Baidu
    map