露点仪TK-100在半导体芯片生产中的应用

发布日期：2023-10-21 浏览次数：152

露点仪TK-100在半导体芯片生产中的应用

测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪。露点仪因所使用的冷却方法和检测控制方法不同，可以分为多种类型。

露点仪在半导体芯片的生产工艺中起重要监测作用。半导体芯片的生产是在净化间内进行的。净化间规范往往包括相对湿度（RH）这一项，一年内控制点的范围从35%到65%，精度2%（70℃以下）湿度超标会影响产品质量及生产计划的完成。

在半导体芯片生产区，湿度不稳定，会出现很多问题。最典型的问题是烘干期延长，整个处理过程变得难以控制。当相对湿度高于35%时，元件易被腐蚀。此外，将显影液喷在芯片表面时，显影液迅速挥发，使芯片表面温度下降，致使水汽凝结在芯片表面。凝结水不但会影响显影特性，还会吸收到半导体内，这将导致膨化及其它质量缺陷，还必须增加一些不必要的工艺控制。

净化间常用的除湿方法有两种。一种是调节空气，另一种是除湿剂。采用第一种方法时，将与净化间气流接触的表面的温度降至气流露点以下。除去析出的冷凝水，将除湿后的空气加热至规定温度后，重新送回净化间。标准冷冻机可保证露点达到+4℃；采用第二种方法时，气流通过吸湿剂，吸湿剂直接吸收气流中的水分，然后将除湿后的空气送回净化间。吸湿剂除湿法可使露点低于-18℃。






TK-100 在线露点仪的传感器，采用的是 静电容量式原理。

当水分子被夹在两个导电层之间的多孔绝缘层 吸收时，上导电层与下导电层之间的电容将会 产生变化。

该电容量通过传感器内部电路被线性的转换为露点 的模拟信号。 吸湿水分的绝缘层厚度为 0.5 μm 以下，上层导电金属层厚度为 0.1 μm 以下，即使少量 水分的吸附也可迅速反应。

拥有如此薄度的同时，传感器仍保持优秀的强韧及耐久性。

高度可信性的校准/可追溯性

TK-100 在线露点仪，在严格的温湿度管理下，采用美国 NIST 和具有可追溯性的基准露点仪对各种测量仪器进行校准。

此外，本公司在－70 ℃ 至－10 ℃的低露点范围领域，被认定为 JCSS※ 校准企业。因此，在传统的 NIST 可追溯性校准的基础上， 可按照 ISO/IEC17025 进行校准。