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圆晶表面清洁度检测的重要性

  • 发布日期:2023-11-09 浏览次数:140
    • 圆晶表面清洁度检测的重要性

      晶圆表面的洁净度会影响后续半导体工艺及产品的合格率,早期曾有文献指出,在制造过程中,因未能有效去除晶圆表面的污染而产生的耗损,在所有产额损失中,可能占达 50% 以上的比例。故上海路阳仪器有限公司根据半导体行业客户需求,研发出一款FY-18系列台式表面检查灯,三种光源可供选择,适用于产品表面划痕、污垢、异物的目视检查。FY-18系列装有匀光板,不刺眼,无级调光设计,客户可以调整到自己理想的光照度。采用无风扇设计,可在洁净室中使用,50cm灵活的柔性臂,可任意角度照射。

      FY-18系列(FY-100R的后继型号)

      采用LED光源,非常适合目视检查产品表面的划痕、污垢、异物等。
      更轻松地对半导体零件、显示器、树脂产品和精密零件进行目视检查。
      通过与二向色滤光片相结合,变得更容易观察,并且对眼睛温和,减轻了工人的压力。

      特征
      FY系列特征图
      • 配备18W大功率LED

      • 瞬间点亮,无需预热

      • 具有调光功能

      • 对被照射物体无热影响

      • 由于无风扇,因此即使在洁净室中也可以使用。

      • 可通过柔性臂进行微调

      光谱分布图

      FY-18N(白色)透明滤光片

      FY-18N(透明白)透明滤光片

      安装绿色滤光片

      安装绿色滤光片
      筛选

      标准设备

      过滤清除

      清除

      过滤扩散

      扩散

      可选(单独出售)
      可在 500 至 600 nm 波长下进行检测。

      过滤绿色

      绿色的

      过滤黄色

      黄色的

      产品规格
      产品规格


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