超高精度激光热膨胀仪 SuperLIX的特点分析

超高精度激光热膨胀仪 SuperLIX的特点分析

该装置是一种高灵敏度热膨胀仪，采用使用线偏振氦氖激光器的双路迈克尔逊干涉仪，并具有内置隔振机构，可防止振动扰动的影响。因此，在能够稳定使用一般分析电子天平(分辨率0.01mg)的环境下，能够以1×10-8/K以下的精度测定热膨胀系数。它还可用于低膨胀系数材料的热膨胀系数的绝对测量，为材料开发和生产线的质量控制提供支持。

采用双路迈克尔逊激光干涉技术的LIX系列热膨胀仪是业内可以测量热膨胀系数绝对值的商用型号。
该测量方法符合低膨胀玻璃热膨胀系数的测量方法JIS（JIS R3251-1990）。

用途

• 10-8/K 低膨胀数材料（玻璃、陶瓷、金属等）高精度膨胀测量
  - 半固态生产设备 光学曝光测量
  - 测量精密平台零位
  - 航天研究对材料的高精度需求量
  - 高精度光学基板建设数量

• 低膨胀数材料质量控制

• 标准热膨胀设备数量

特征

• 一般来说，有全面的振动消除机构，可以防止机芯的移动，可以在分析环境中使用正常的电子天平（0.01英寸分离率）移动量。（日本特殊要求2016-058190、058191、058192）

• 通过光波长（632.8 nm）测量的相移量。综合光学元件可以去除和散射光，信号的可信度有高有低。要求不高的特殊仓位调准量求和操作。

• 在传输图像的过程中，可以计算传输（扩展/消耗）量，并检查扩展系统的数量。

标准

符合JIS R3251-1990标准
2016-058190、058191、058192

规格

模型	超级LIX-R
温度范围	标准温度：0-50℃（高精度恒温循环系统）
标准尺寸	φ5方5±0.5毫米×12-20毫米长 （标准标准品尺寸5×20mmL，端面R加工标准品）
调查金额	低压He气氛
称重方法	双光路经过强光干燥系统。

实际程序

占卜之地	约1200mm（宽）x 760mm（深）x 1600mm（高） *超出挖掘室需求2500mm（高）
所需电源	PC（指示灯、机身）：2个AC100V 15A（座椅、地面） 排风系统：AC200V 3相15A 1个 局部 空气系统引入系统：1个AC 100V单相15A 恒温水循环器：1个AC 100V 15A（座椅，接地）接地）
需要接地	1个D型（接地电压100m以下）

调查金额示例


低膨胀陶瓷示例

金属（超环保瓷砖）测量量示例