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半导体行业用氟树脂接头介绍

  • 发布日期:2023-11-21 浏览次数:159
    • 半导体行业用氟树脂接头介绍

      介绍Flowel株式会社的各种产品,包括多年来受到半导体行业和其他行业好评的“氟树脂接头"。

      采用国内的喇叭形密封方式。本体和螺母形状均具有的结构,接近满足客户的要求:清洁安全、不积液、不泄漏、无需重新拧紧,性能配备。非常适合防止 CMP 浆料结块、光刻胶起泡和胶凝以及蚀刻和剥离溶液泄漏。

      • 高性能火炬配件

      • 本体前端及螺母内部进行锥度加工的结构

      • 显着改善液体替代特性

      • 准备两种类型的施工方法:冷火炬和热火炬。

      • 最高工作温度:100℃

      • 适用管材尺寸: φ3mm 至 φ25mm、φ1/8″ 至 φ1″

      氟树脂配件

      80年代
      80 系列
      适用于先进工艺

      提供专用夹具
      ・出色的颗粒排出性能
      ・业界的 230℃ 兼容
      ・应用:清洁设备、涂布机显影剂

      70年代
      70系列
      插入式全能焊接

      提供专用夹具
      - 具有无焊珠结构的平面焊接内表面
      - 自动化加热和冷却过程
      - 应用:清洁设备、化学品供应设备、VMB(阀组箱)

      60年代
      适用于60系列
      半导体工艺

      可提供专用夹具
      ・高性能扩口型接头
      ・优异的液体置换特性
      ・用途:涂布机、显影机

      30秒
      30系列
      通用型

      长销配件,无需特殊夹具
      ,易于安装。应用
      :理化仪器、分析仪器等。

      系列性能对照表



      80系列 70系列 60系列 30系列
      最高
      工作温度
      230℃ 200℃ 100℃ 100℃
      尺寸阵容

      英制:
      Φ1/8~1″
      毫米:
      Φ3~25
      英制:
      Φ1/4~1-1/2″
      毫米:
      不适用
      英制:
      Φ1/8~1″
      毫米:
      Φ3~25
      英制:
      Φ1/8~3/4
      毫米:
      Φ3~19
      施工
      夹具
      基本的 基本的 基本的 -
      机身
      材质
      阀体: PFA/PTFE
      螺母: PFA
      阀体: PFA/PTFE
      螺母:无
      阀体: PFA/PTFE
      螺母: PFA
      阀体: PTFE
      螺母: ECTFE
      适用
      管材
      _
      粉煤灰 粉煤灰 PFA/
      聚四氟乙烯
      PFA/
      聚四氟乙烯



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