ballwave球SAW传感器的特点分析

ballwave球SAW传感器的特点分析

Ball Wave 的基础技术“Ball SAW 传感器”是一种紧凑、高速、高灵敏度的创新化学传感技术。

直径1毫米

小尺寸

将超声波的一种——表面声波（SAW）以带状限制在球体表面，从而实现紧凑的尺寸。



敏感膜

高速

由于轨道声表面波多次穿过敏感膜，因此即使敏感膜很薄也可以测量气体响应。由于敏感膜很薄，因此在膜中的扩散时间短且快。

长距离传播

高灵敏度(x100)

由于敏感膜上的气体吸附而导致的 SAW 物理性质的变化在一个循环中非常小，但通过重复循环，这种变化可以放大，从而产生高灵敏度。

通过根据测量目标在微小的水晶球表面形成不同的敏感膜，可以测量多种气体，例如微量水分、氢气、天然气和有机混合气体。

除了水晶球的耐高温和高压性能外，它还具有比传统技术高约100倍的灵敏度和更快的响应速度，扩展了全新传感器系统的可能性。

球声表面波传感器技术



球声表面波传感器

SAW；表面声波

发现了这样一种物理现象：当在宽度等于球体直径和波长的几何平均值的球体表面激发表面波时，表面波像
自然平行光束一样绕多圈，而没有任何衍射现象。

多圈的声表面波会随着圈数放大声速和衰减率的变化，从而可以更精确地测量这些变化。
通过在该多圈传播路径上安装敏感薄膜，可以获得小型、高速、高灵敏度的球型SAW传感器。

测量气体	水蒸气	有机混合气体	氢	病毒
敏感膜	无定形二氧化硅	二甲基硅氧烷 （色谱柱材料）	钯合金 （Pd Ni、Pd Pt）	抗体 适体
方法	单传感器	气相色谱法	单传感器	单传感器
产品	微量水分测定仪	便携式气相色谱仪	氢传感器	抗原抗体传感器

球SAW传感器应用示例1（氢气）



方法比较	灵敏度范围
场效应管	10ppm-1%（低浓度）
电阻	1%-100%（高浓度）
表面声波	0.1%-100%（高浓度）
球锯	0.001%-100%（全量程） 快速响应

球SAW传感器应用示例2（有机混合气体）



电极孔径 α=√λD
λ: SAW 波长
D: 球体直径

• 高灵敏度

• 反应快

• 非破坏性的