excimer紫外线172nm准分子灯的特性及应用

excimer紫外线172nm准分子灯的特性及应用

在工业应用中，常用的准分子波长是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解有机分子的所有主要键，但碳和氧 (C=O) 之间的键和一些无机氧化物之间的键除外。这使其成为表面改性、光清洗、光固化的选择。



适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 VUV 172nm 光源

风冷紧凑型准分子灯单元，灯长160mm，该单元专为VUV 172波长的照射而设计，系统结构简单，具有低成本、高性能的特点，准分子UV灯可实现低温精密处理。

紧凑型准分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圆和掩模基板的灯。其特点是简单紧凑、高可靠性风冷型、无需更换灯管的长寿命准分子灯。*1电源为AC100V。




特点

长寿命风冷准分子灯。无需更换灯管

　　　　本来，准分子紫外线灯的结构是灯泡内部没有电极，因此理论上它们被认为是长寿命灯，在国外有时被称为准分子灯。然而，如今追求高照度的准分子灯由于灯管材料更轻、更薄、灯管温度更高以及紫外线能量导致的玻璃变形，往往导致灯管寿命较短，从而导致成本较高。

根据多年的现场经验，Excimer Co., Ltd.的风冷紧凑型准分子灯需要定期更换外部电极、高压电缆和高压部件，但不需要更换内部电极。灯管本身，实现低成本和高可靠性。*1

特征

• 风冷方式，安装方便。

• 灯管灯长160mm

• 电源 AC100V 50/60Hz

• 瞬时开/关灯功能。

• 适合研究和开发。

应用领域

• 表面润湿性和改性

• 光化学

• 反应性OH自由基过程

• 抗蚀剂去除

• UV O3工艺



准分子灯功能应用

1、增加表面能量和亲水性

准分子辐射通过增加表面能来“激活"表面，表面能以每米毫牛顿 (mN/m) 为单位。表面能决定了流体和固体表面之间的接触角。准分子光清洗作为其他清洗设备对表面处理的替代品，准分子的冷光极大减少了类似红外线等产生的多余热量。这种降低的热负荷意味着不会损坏基材表面结构，从而保证更好的粘接结果为了确保附着力和均匀分布。例如在印刷和粘合等应用中，需要实现更小的接触角，提高清洁度。






虽然聚合物和其他复合材料的表面辐照可能是准分子常用的用途，但这种处理也几乎适用于任何表面。将准分子技术应用于硅晶片、金属和玻璃时，清洁、涂层和粘合也可以得到显着改善。




图表展示了玻璃、矿物和聚合物类型的例子，可以使用准分子技术结合。

粘合优势分析：√强/极 ○弱

2、更广泛的应用范围

在某些情况下，可以实现亲水化，其中整个表面变得润湿。此时，液体的接触角达到零度，将液滴转化为液膜。目前，准分子灯正用于生态学、光化学、光生物学、医学、物理学、微电子学以及包括智能制造工业在内的各种工业分支等等。



图：铜、铝、硅的在准分子灯照射下接触角变化