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溅射仪SC-701MkII 介绍

  • 发布日期:2024-01-31 浏览次数:3
    • 溅射仪SC-701MkII 介绍

      兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多种金属的高规格紧凑型镀膜机。

      特征

      • DC 溅射类别中最小的超紧凑型号。

      • 配备皮拉尼真空计,确保成膜条件的再现性

      • 标准配备手动快门

      • 使用专用的样品台和载物台可以轻松改变 TS 之间的距离。

      • 可以进行钨涂层,因此也可用于制备高分辨率 SEM 样品。

      用途和结果示例

      • 将电极膜粘贴到各种设备上

      • 用于反射薄膜生产等。

      基本规格

      阴极 φ2英寸直流磁控管/扁平电极
      适用对象 Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
      压力测量 皮拉尼真空计
      压力控制 带针阀手动控制
      入口直径 φ6mm 一触式接头
      工艺气体 氩气
      真空泵 直联旋转泵:20L/min(带自动泄漏)
      腔室尺寸 内径φ90×D90mm(SUS材质)
      样品交换方式 前门开闭方式
      尺寸(宽/深/高) 机身:160/450/290mm 转速:295.5/156/199.5mm
      重量 本体:9kg RP:9kg



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