半导体行业用露点检测设备的选择

发布日期：2024-02-20 浏览次数：3

半导体行业用露点检测设备的选择

半导体芯片对现代社会的重要性不言而喻，是支持5G，物联网，AI，自动驾驶汽车，智能穿戴等市场发展的关键因素。随着芯片尺寸的减小和更加精密，制造工艺要求也越来越精细，更严格的规范和生产误差。反过来，这将更加依赖于监测和控制工艺条件的传感器和仪器性能，尽可能降低减产或整批晶圆报废的风险。

被称为半导体“血液"的电子气体是芯片制造业不可缺的，它参与蚀刻、清洗、外延生长、离子注入等各个环节。它的纯度影响集成电路的性能、集成度、成品率等，随着芯片制造工艺的小型化，半导体生产对电子气体的纯度提出了更高的要求。

在半导体制造中，水一直是影响较大的污染物之一，统计显示，不符合工况要求的水分造成的损失占损失的 25%。为避免产品质量和产量出现问题，在半导体制造过程中必须尤为谨慎地监测湿度和温度水平。如湿度是硅晶圆生产过程中关键的因素，如果空气太干燥，静电就会成为问题。

气体中的露点测量是一个挑战，以99.9999%的高纯氮气为例，其水分含量低于1ppm，也就是100万个气体分子中， 不到1个水分子。如此微量的水分子含量， 对湿度传感器的灵敏度和准确性都是一个真正的考验。在过往，高精度的水分仪往往伴随着高成本，而随着金属氧化物陶瓷湿度传感器的开发，在精度和成本上的选择不再是鱼和熊掌不能兼得的困境。

TK-100在线露点仪









特征

• 国内开发、国内制造、国内校准

• 露点测量范围-100至+20℃dp

• 精度±2℃dp

• 高响应速度

• 有竞争力的定价体系

• 交货快捷

• 完善的支持体系

• 可追溯至国家标准

主要用途

• 手套箱内的露点控制

• 干燥机露点检查

• 热处理炉内气氛控制

• 洁净室和干燥室的露点管理

• 气体纯度控制

• 天然气水分管理

• 半导体制造设备

• 有机EL制造