mec检测技术分析

发布日期：2024-03-16 浏览次数：21

mec检测技术分析

定区域检查/尺寸测量




MLA-5000 专为切割（单晶圆）产品而设计，除了对产品定区域进行表面检查外，还使用我们的技术来执行尺寸测量。

之定区域巡查

• 通过将定检查区域设置在检查对象区域（工件）的末端，可以进行全表面检查。

• 通过在检查对象区域（工件）内定定检查区域并设置多个检查区域，可以处理多面产品和多个工件。

• 如果检查对象区域（工件）的形状复杂，也可以使用CAD数据来定区域。



尺寸测量

• 可以在自动识别的检查目标区域（工件）内识别定区域，并测量每个区域和每个区域之间的尺寸（距离）。通过测量尺寸，可以获得定区域的“外径/内径/位置偏差量/被检查产品之间的节距"等信息，并对产品进行合格/不合格判定。

待检产品示例1		待检产品例2
从产品的外圆开始指指区域 1、2、3 φDiameter1：指区域 1 的直径 φDiameter2：指区域 2 的直径 φDiameter3：指区域的直径 3TargetPitch：与前一产品的间距PositionGap1 ： 指区域 3 的中心位置 偏差PositionGap2：测量指区域1和2的中心位置偏差 TargetWidth：纸张的全宽度		产品的圆为指区域 φDiameter: 指区域的直径PositionGap : 测量指区域的中心位置偏差TargetPitch : 与前一个产品的间距TargetWidth : 板材的全宽度