半导体行业用软X射线离子静电消除装置

半导体行业用软X射线离子静电消除装置

SXN 系列通过使用软 X 射线照射电离特定区域的空气来消除静电。
非常适合在清洁环境中使用，主要用于半导体、LCD、OLED 等的制造过程。





特征

• 清洁环境的理想选择
  与电晕放电离子发生器不同，放电针不会产生颗粒或粘附。由于不使用空气或风扇，因此不存在气流造成的环境干扰。

• 与免维护
  电晕放电离子发生器不同，它没有放电针，因此无需更换或清洁电极。当辐照灯接近其使用寿命时，警报会通知您。

• 离子平衡±0V
  由于⊕离子和⊖离子生成均匀，离子平衡在±0V时良好，不会发生反向充电。

• 高速除静电性能
  ：瞬间电离带电物体周围的气氛，可以快速衰减大范围的静电。

• 紧凑的机身和
  小型头部单元易于安装，即使在有限的空间内也能轻松安装。

辐照范围和衰减时间性能











软X射线照射的操作注意事项（法律规定）




• 直接暴露于软 X 射线对人体可能会产生有害影响并且很危险。使用本产品时，需要采用以下屏蔽结构。

• 根据电离辐射危害预防条例，您必须在预定安装日期 30 天前向主管劳动基准监督署提交通知。

关于软X射线的屏蔽（参考资料）




通过考虑软 X 射线屏蔽结构材料和屏蔽率来遵守设备安全标准。




屏蔽材料

模型	设备配置
SXN-10V	控制器SXC-10T 1台	照射头SXH-10V 1台
SXN-102V	控制器SXC-102T 1台	照射头SXH-10V 2台
SXN-104V	控制器SXC-104T 1台	照射头SXH-10V 4台

规格　（主机、控制单元）
模型		SXN-10V	SXN-102V	SXN-104V
电源电压/频率		AC100~240V 50/60Hz
能量消耗		23W	40W	50W
离子发生方式		软X射线照射法
X射线辐射源		软X射线管
冷却方式		自然冷却
连接头数		SXN-10V×1台	SXN-10V×2台	SXN-10V x 4 台
头部重量		SXN-10V：0.29kg/台
控制器重量		SXC-10T：0.52kg	SXC-102T：1.14公斤	SXC-104T：1.64公斤
头部更换指南		大约运行 8,000 小时
外部输出	警报	磁头异常、系统错误等
	互锁	联锁开/关
	偏僻的	远程开/关
	力量	电源开/关
	随着时间的推移	磁头更换时间通知（7500小时）
展示		电源、联锁、超时、磁头异常
保证		购买后1年

材料		厚度（毫米）
①	铜	0.1mm以上
②	铝	0.2mm以上
③	玻璃	1毫米以上
④	氯乙烯	5毫米以上
⑤	丙烯酸纤维	10毫米以上
*	抗静电亚克力：5mm以上

屏蔽率