适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 VUV 172nm 光源

发布日期：2024-05-12 浏览次数：0

适用于 6 英寸晶圆和掩模的长寿命紧凑型准分子 VUV 172nm 光源

空气冷却紧凑型准分子灯单元，光长160mm，专为VUV 172波长的照射而设计，具有简单的系统结构，可实现低温精密处理。

紧凑型准分子UV172nm光源型号E500-172-160

与 6" 晶圆和掩模基板兼容的灯。其特点包括简单紧凑的结构、高度可靠的空气冷却以及无需更换灯管的长寿命准分子灯。 *1 电源为 AC100V。









特点 长寿命风冷准分子灯。无需更换灯管

　　　　本来，准分子紫外线灯的结构是灯泡内部没有电极，因此理论上它们被认为是长寿命灯，在国外有时被称为准分子灯。然而，如今追求高照度的准分子灯由于灯管材料更轻、更薄、灯管温度更高以及紫外线能量导致的玻璃变形，往往导致灯管寿命较短，从而导致成本较高。

*1 根据多年的现场经验和结果，Excimer Co., Ltd. 的风冷紧凑型准分子灯需要定期更换外部电极、高压电缆和高压部件作为维护的一部分，但无需更换昂贵的灯管本身。我们实现了低成本和高可靠性。

特征

• 风冷式，安装方便。

• 灯管灯长160mm

• 电源 AC100V 50/60Hz

• 瞬时开/关灯功能。

• 适合研究和开发。

应用领域

• 表面润湿性和改性

• 光化学

• 反应性OH自由基过程

• 抗蚀剂去除

• UV O3工艺











规格




波长	172纳米
灯长	160毫米（灯箱型）
功能	立即开/关灯
灯箱尺寸（灯箱类型）	宽200×高45×深80毫米
电源尺寸（灯箱类型）	宽250×高140×深200毫米
力量	交流100V 60Hz 1A
奥普廷斯	臭氧过滤器、工艺气体供应装置




*由于采用紧凑型风冷设计，连续点亮时间在10分钟以内。