有机薄膜的厚度膨胀测量用-激光热膨胀仪LIX-2系列

发布日期：2024-06-06 浏览次数：41

有机薄膜的厚度膨胀测量用-激光热膨胀仪LIX-2系列

可以以最小分辨率 1 nm 检测有机薄膜、低膨胀玻璃、金属等厚度方向的微小热膨胀。
测量热膨胀的方法包括推杆法、光学干涉法、遥测法和电容器法。
它采用双光路迈克尔逊激光干涉测量法，被认为是现有的精确的测量方法。
通过使用零摩擦平移镜，只需将样品端面加工成球面即可轻松进行测量。
此外，通过使用可选的石英垫片，可以在改变温度的同时测量所需的薄膜厚度。LIX-2 双路迈克尔逊激光干涉膨胀仪是业界的商用型号。

目的

• 有机薄膜的厚度膨胀测量

• 低膨胀玻璃高精度膨胀测量

• 低膨胀金属材料的质量控制测量

• 密封剂膨胀的测量

• 各种电子元件的精密热膨胀测量

• 标准膨胀计校准样品的测量

特征

• 使用平行移动样品架可实现稳定测量

• 超精密测量，读数分辨率为 1nm

• 通过使用石英样品，还可以测量厚度为50至500μm的薄膜和薄板的厚度方向。

标准

平行移动样品架符合JISR3251-1995

规格

模型	LIX-2M	LIX-2L
温度范围	室温～700℃	-150至200℃
样本量	φ3~6mm x 长度10mm~15mm 长度方向两端均为球面加工
测量气氛	➀真空中 ➁低压高纯氦气中
测量方法	双光路迈克尔逊型激光干涉法

测量原理



公用事业

安装占地面积	本体约宽2000mm x 深800mm
所需电源	主机 AC100V 15A（带插座和接地） 2处
需要接地	D级（接地电阻100Ω以下）
冷却水	自来水或蒸馏水3L/min以上，压力0.15MPa以上

测量示例

零膨胀玻璃的测量结果




*经评估，所有产品在±150°C范围内的热膨胀系数均为10 -8 /K。