兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多种金属的高规格紧凑型镀膜机

发布日期：2024-07-04      浏览次数：80

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多种金属的高规格紧凑型镀膜机


特征

DC 溅射类别中最小的超紧凑型号。

配备皮拉尼真空计，确保成膜条件的再现性

标准配备手动快门

使用专用的样品台和载物台可以轻松改变 TS 之间的距离。

可以进行钨涂层，因此也可用于制备高分辨率 SEM 样品。

用途和结果示例

将电极膜粘贴到各种设备上

用于反射薄膜生产等。

基本规格

阴极	φ2英寸直流磁控管/扁平电极
适用对象	Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
压力测量	皮拉尼真空计
压力控制	带针阀手动控制 入口直径 φ6mm 一触式接头
工艺气体	氩气
真空泵	直联旋转泵：20L/min（带自动泄漏）
腔室尺寸	内径φ90×D90mm（SUS材质）
样品交换方式	前门开闭方式
尺寸（宽/深/高）	机身：160/450/290mm 转速：295.5/156/199.5mm
重量	本体：9kg RP：9kg