简易微量金属污染物回收装置SC-3100介绍

发布日期：2024-07-04      浏览次数：112

简易微量金属污染物回收装置SC-3100介绍



SC-3100
●连接至PC以创建各种收集模式，并从硅晶片的表面和侧面（斜角部分）收集（样品）微量金属污染物。
●设备安装方便，不需要太多外部资源，不占用太多空间。
●由于工作是机械完成的，因此不需要操作员技能，任何人都可以轻松取样。
●由于设备自动供给取样化学品并移动支架，因此与SC-2000相比，可以减少工人造成的污染。

SC-8100
●具有即使在亲水状态的晶圆上也能收集污染物的功能，并且可以对硅以外的材料制成的晶圆或因体蚀刻等而导致表面变得粗糙的晶圆进行采样。
●放宽了对晶圆条件和采样化学品类型的限制，使得可以回收重金属以外的离子。
●当然，传统的疏水表面采样也是可能的。

SC-9100
●具有即使是亲水状态的晶圆也能捕集污染物的功能，可对硅以外的材料的晶圆或因整体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆进行取样。
●放宽了对晶圆条件和采样化学品类型的限制，使得可以回收重金属以外的离子。
●当然，传统的疏水表面采样也是可能的。
●由于设备自动供给取样化学品并移动支架，因此与SC-8100相比，可以减少工人造成的污染。




设备名称		SC-3100			SC-8100			SC-9100
手术		电脑 (*3)
安装/拆卸固定器		自动的			手动的			自动的
供应取样用化学溶液		自动的			手动的			自动的
化学溶液取样采集		自动 (*1)			手动的			自动的
基本采集模式		环形、扇形、固定、半径、圆弧
追加收集图案(*1)		横向、矩形、弧形
定向平整处理（*2）		添加到环形、固定半径、侧面检索模式
抽吸式液体收集		○			-			○
亲水表面的恢复		-			○			○
外部尺寸（宽x深x高）（毫米）		630×550×600			600×550×700			630×550×790
重量		35公斤			40公斤			50公斤
使用地点		干净的草案里面
必要的公用事业		电源（AC100-240V）、 纯净水、洁净干燥空气			电源（AC100-240V）、N2、洁净干燥空气			电源（AC100-240V）、N2、 纯净水、洁净干燥空气