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CHINO温度计在半导体晶圆表面抛光温度测量上的运用

  • 发布日期:2024-07-12      浏览次数:60
    • CHINO温度计在半导体晶圆表面抛光温度测量上的运用

      ●适合装置组装的紧凑的检测部

      ●可追随温度变化的高速响应

      在半导体宇工哈的电脑技术置中,通过研磨晶片直至达到与基座相同的高度,从而达到规定的厚度。研究星期一开始调查后,晶片和基座之间会产生温度差,但如果晶片达到与基座相同的高度,则温度差消失。通过用放射温度计测定研磨面的温度,可以判断研磨结束。

      光状态可以通过温度确定,利用反馈优化加工过程

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      • 即使环境温度发生变化,也可以进行高精度和稳定的测量。

      • 兼容要求15ms跟随性的生产线

      • 范围宽,从低温范围(0至1000℃)

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      • 配备出色的可操作性和广泛的记录功能,网络兼容无纸记录仪,并支持自定义图形

      • 共22种多量程输入(直流电压、热电偶、测温电阻)

      • 配备趋势显示、棒图显示、数值显示等多种显示功能。

      • 最大8GB的CF卡可用于数据记录,因此可以长期连续记录。

      • 配备算术、比较、逻辑运算等计算功能,还可以对输入数据进行预定运算并显示和记录。

      • 报警输出和上/下通讯可供选择。可以使用下层通信记录来自市售PLC*的数据,也可以从KR2000将数据写入PLC。(*PLC 型号有限制。)

      • 通过使用可选的自定义图形功能,用户在 PC 上创建的图形屏幕(使用 KR Screen Designer,单独出售)可以显示在 KR 上。

      • 测量数据记录在内存和CF卡中,并且可以在主机上回放。此外,通过使用分析/数据采集应用软件TRAMS,您可以轻松回放、显示和编辑记录仪采集的数据文件。

      • 图形记录仪KR3000宽288x高288毫米
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      • KR3000系列是一款兼容网络的无纸记录仪,采用可视性佳的12.1英寸TFT彩色液晶显示屏和触摸屏操作系统,功能强大且易于操作。采集周期约为100ms/所有点,精度为±0.1%FS的高速和高精度。测量数据可保存在内存和最大8GB的紧凑型闪存卡(CF卡)中。可以使用网络浏览器屏幕从内联网或互联网上的多台计算机进行监控,并且可以通过 FTP 传输数据文件或通过电子邮件发送数据文件。

      • 配备出色的可操作性和广泛的记录功能,网络兼容无纸记录仪,并支持自定义图形

      • 共22种多量程输入(直流电压、热电偶、测温电阻)

      • 配备趋势显示、棒图显示、数值显示等多种显示功能。

      • 最大8GB的CF卡可用于数据记录,因此可以长期连续记录。

      • 配备算术、比较、逻辑运算等计算功能,还可以对输入数据进行预定运算并显示和记录。

      • 报警输出和上/下通讯可供选择。可以使用下层通信记录来自市售PLC*的数据,也可以从KR3000将数据写入PLC。(*PLC 型号有限制。)

      • 测量数据记录在内存和CF卡中,并且可以在主机上回放。此外,通过使用分析/数据采集应用软件TRAMS,您可以轻松回放、显示和编辑记录仪采集的数据文件。

      • 通过使用可选的自定义图形功能,用户在 PC 上创建的图形屏幕(使用 KR Screen Designer,单独出售)可以显示在 KR 上。



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