CHINO温度计在半导体晶圆表面抛光温度测量上的运用
●适合装置组装的紧凑的检测部
●可追随温度变化的高速响应
在半导体宇工哈的电脑技术置中,通过研磨晶片直至达到与基座相同的高度,从而达到规定的厚度。研究星期一开始调查后,晶片和基座之间会产生温度差,但如果晶片达到与基座相同的高度,则温度差消失。通过用放射温度计测定研磨面的温度,可以判断研磨结束。
IR-BZ系列将检测部与主体分离,检测部更小,可在高温环境下使用。配备数字温度显示和参数设定功能,实现稳定测量。
即使环境温度发生变化,也可以进行高精度和稳定的测量。
兼容要求15ms跟随性的生产线
范围宽,从低温范围(0至1000℃)
KR2000系列是一款兼容网络的无纸记录仪,采用5.6英寸TFT彩色液晶显示屏,具有出色的可视性,兼具高功能性和可操作性。采集周期约为100ms,精度为±0.1%FS,实现高速、高精度。测量数据可保存在内存和最大8GB的紧凑型闪存卡(CF卡)中。可以使用网络浏览器屏幕从内联网或互联网上的多台计算机进行监控,并且可以通过 FTP 传输数据文件或通过电子邮件发送数据文件。
共22种多量程输入(直流电压、热电偶、测温电阻)
配备趋势显示、棒图显示、数值显示等多种显示功能。
最大8GB的CF卡可用于数据记录,因此可以长期连续记录。
配备算术、比较、逻辑运算等计算功能,还可以对输入数据进行预定运算并显示和记录。
报警输出和上/下通讯可供选择。可以使用下层通信记录来自市售PLC*的数据,也可以从KR2000将数据写入PLC。(*PLC 型号有限制。)
通过使用可选的自定义图形功能,用户在 PC 上创建的图形屏幕(使用 KR Screen Designer,单独出售)可以显示在 KR 上。
测量数据记录在内存和CF卡中,并且可以在主机上回放。此外,通过使用分析/数据采集应用软件TRAMS,您可以轻松回放、显示和编辑记录仪采集的数据文件。
KR3000系列是一款兼容网络的无纸记录仪,采用可视性佳的12.1英寸TFT彩色液晶显示屏和触摸屏操作系统,功能强大且易于操作。采集周期约为100ms/所有点,精度为±0.1%FS的高速和高精度。测量数据可保存在内存和最大8GB的紧凑型闪存卡(CF卡)中。可以使用网络浏览器屏幕从内联网或互联网上的多台计算机进行监控,并且可以通过 FTP 传输数据文件或通过电子邮件发送数据文件。
共22种多量程输入(直流电压、热电偶、测温电阻)
配备趋势显示、棒图显示、数值显示等多种显示功能。
最大8GB的CF卡可用于数据记录,因此可以长期连续记录。
配备算术、比较、逻辑运算等计算功能,还可以对输入数据进行预定运算并显示和记录。
报警输出和上/下通讯可供选择。可以使用下层通信记录来自市售PLC*的数据,也可以从KR3000将数据写入PLC。(*PLC 型号有限制。)
测量数据记录在内存和CF卡中,并且可以在主机上回放。此外,通过使用分析/数据采集应用软件TRAMS,您可以轻松回放、显示和编辑记录仪采集的数据文件。
通过使用可选的自定义图形功能,用户在 PC 上创建的图形屏幕(使用 KR Screen Designer,单独出售)可以显示在 KR 上。
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