ceratech带加热功能的静电吸盘介绍

发布日期：2024-08-13      浏览次数：24

ceratech带加热功能的静电吸盘介绍

通过将金属电极放置在陶瓷内部并将它们烧结在一起，可以制造静电吸盘和陶瓷加热器。
我们拥有一系列静电吸盘/陶瓷加热器，可充分利用各种材料技术来满足用户需求。我们根据等离子体环境领域和电子束使用领域等应用提供从开发到原型设计阶段的产品。






特点/应用

(1) 带加热器静电吸盘(ESC/加热器)

　[材质：AlN（氮化铝）]

• 通过控制AlN的体积电阻率，可以获得较宽的温度范围和足够的吸附能力。

• 通过高度灵活的加热器设计可以实现出色的温度均匀性。

• 由于 AlN 和电极烧结在一起，因此电极不会随着时间的推移而劣化。

• 还提供采用粘合技术的陶瓷空心结构。








(2)静电吸盘(ESC)

　[材质：Al 2 O 3 (氧化铝)]

• ・采用层压技术，可实现高的面内温度均匀性。

• ・通过使用高纯度氧化铝，可以减少金属污染。

• ・在卤素气体等离子环境下具有优异的耐久性。







　[材质：热喷涂Al 2 O 3 ]

• 使用我们的氧化铝喷涂技术可以形成致密的绝缘层。

• 与氧化铝板型相比，其制造成本更低。

• 它比更便宜的薄膜类型具有更高的耐用性。



(3)陶瓷加热器

　[材质：AlN（氮化铝）]

• 通过使用高导热率的AlN，可以实现优异的温度均匀性（±0.3%）。

• 我们拥有IR相机、TC晶圆等特色检测环境。




技术介绍

◆12英寸卡盘平面度精度

　平整度0.2μm以下

◆形状控制

　根据晶圆形状形成卡盘形状（凹凸控制）。