daico在线加热器（CL 加热器）产品介绍

发布日期：2024-08-31      浏览次数：52

daico在线加热器（CL 加热器）产品介绍

大工制作所的在线加热器（CL加热器：Chemical Line Heater）在接液部分使用高纯度石英玻璃，用于半导体制造湿法工艺中各种化学溶液和纯水的高温加热，并使用卤素的红外光能量使用灯加热器的清洁加热装置。






特征

   













   ① 清洁度

　      接液部件采用石英玻璃制成，金属离子溶出极低，并具有优异的耐热性和耐化学性。

　      另外，由于它采用光辐射加热方式，因此加热器损坏时不会产生金属污染。

  

   ② 高效热源

　      具有快速启动和关闭时间的卤素加热器。 85%以上红外转换及投射。

  

③安全 



















　      配有超温传感器、过热检测传感器和漏电检测引线。

         ・另外需要检测器。

　　　・请在不同的系统中使用干热检测传感器和过热检测传感器。

  

④维护 

     　 采用单端加热器，存储紧凑，维护方便。

 

 




内部结构

   



 

  




温升数据

　　

 

 




规格

　

方法		使用卤素灯加热器的辐射加热方法
产品编号		CLH2603T-25P	CLH3903T-25P	CLH4123T-25P
性能配置	加热器功率	6千瓦	9千瓦	12千瓦
	最高工作温度	180℃
	接液部件材料	高纯石英玻璃
	允许内压	0.4兆帕
	管道直径（石英）	25毫米[※1]	25毫米	25毫米
	适用配管（氟树脂）	φ25mm[※1]	φ25mm	φ25mm
	安全机制	超温传感器、过热检测传感器、泄漏检测引线
	功耗	交流200V 6KVA	交流200V 9KVA	AC200V12KVA
住房	外壳材质	氟树脂（PTFE）
	外壳尺寸（宽 x 长 x 高）	230×432×242mm [※2]	230×432×242mm [※2]	230×432×242mm [※2]
	重量	约14公斤	约15公斤	约16公斤






















*不能用于浸泡石英玻璃或氟树脂的化学溶液。

*石英管配件请自行准备。 （石英管施工标准：与Nippon Pillar Industries石英接头兼容）

*1 还备有配管直径为 φ20mm 的“-20P"型。

*2 外壳（L）尺寸不包括石英顶部和底部管道的IN/OUT尺寸。