介绍用于半导体制造工艺和电路板安装工艺的称重传感器

发布日期：2024-09-11      浏览次数：111

介绍用于半导体制造工艺和电路板安装工艺的称重传感器




TEAC称重传感器的特点

• 我们可以提供与您其他公司的称重传感器具有相同形状和性能的称重传感器。

• 可以根据相同形状的称重传感器生产功能强大的定制版本。

• 可以制造诸如晶体生长称重传感器等专用模型。

• 我们专注于低容量和小尺寸产品。

拉锭

用于拉制半导体晶圆所需的硅、蓝宝石等单晶。
即使在各种气体环境下，也能高精度、稳定地检测提升过程中的微小负载变化。

通过在籽晶前端安装称重传感器来进行载荷控制。



兼容的称重传感器：晶体生长称重传感器


TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
TT-XNS / TT-XNS(G)

模型	TT-XNⅡ（常压型） TT-XNⅡ（G）（常压气体吹扫型）		TT-XNS（常压型） TT-XNS(G)（常压气体吹扫型）
额定容量	低容量部分：100N	高容量部分：500N	20N～500N
允许过载	600N		120%RC
过载保护*	可以是		可以是
体重	8公斤		8公斤
配件	φ6，6芯屏蔽电缆，前端 NDIS插孔para（长度待讨论）		φ10，6芯屏蔽电缆，前端 NDIS插孔（长度请咨询）
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*过载保护

• TT-XNⅡ：

• 机械制动器在重力方向上约 120% 的负载下保护称重传感器。在相反方向（向上方向），通过将载荷传输部件与称重传感器分离来保护称重传感器。

• TT-XNS：

• 在重力方向上，称重传感器在 110% 至 120% 负载时受到机械制动器的保护。在相反方向（向上方向），称重传感器在大约 120% 负载时受到机械制动器的保护。

兼容的称重传感器：用于大直径铸锭负载管理


TU-PGRS ○○N/KN-G

模型	TU-PGRS ○○N/KN-G
额定容量	2kN～5kN
负载方向	拉伸/压缩
特征	超高精度
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切割（线锯）

钢丝张力和锭压制负载由称重传感器监控。
使压住锭的力恒定。

兼容的称重传感器


第355章

模型	第355章
额定容量	49N～
负载方向	压缩
特征	防水性能 IP68 不锈钢
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抛光（抛光/研磨）

用于控制硅片抛光（研磨/抛光）过程中的压力。

测量旋转台的压紧压力（力）



称重传感器安装位置：根据工作流程，可能安装在上抛光段，也可能安装在上下部分。

兼容的称重传感器：用于抛光


TC-FR(T) ○○N-G6
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TU-PGRS ○○N/KN-G

模型	TC-FR(T) ○○N-G6	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TU-PGRS ○○N/KN-G
额定容量	200N～500N	50N～500N	100N～500N
负载方向	压缩	压缩	拉伸/压缩
特征	所有公司通用形状 的标准型	带溅射薄膜测量仪的 高响应型	超高精度
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兼容的称重传感器：用于包装


TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-MXR2(T) ○○N-G3

模型	TU-GR ○ KN-G	TU-NR-C□□KN-G	TU-MXR2(T) ○○N-G3
额定容量	5kN~	1kN～	100N～500N
负载方向	拉伸/压缩	拉伸/压缩	拉伸/压缩
特征	剪切结构 抗偏心性能、抗疲劳性能	剪切结构 抗偏心性能、抗疲劳性能	适用于小型抛光设备
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晶圆测试

用于测试晶圆上形成的芯片的电气特性时的负载管理。

探针卡压力管理



兼容的称重传感器


TU-GR ○ KN-G
TU-NR-C□□KN-G
TU-CR(T) ○○N/KN-G6

模型	TU-GR ○ KN-G	TU-NR-C□□KN-G	TU-CR(T) ○○N/KN-G6
额定容量	5kN~	1kN～	1kN・2kN
负载方向	拉伸/压缩	拉伸/压缩	拉伸/压缩
特征	剪切结构 抗偏心性能、抗疲劳性能	薄 剪切结构 耐偏心、耐疲劳	高输出/光束型
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粘合

用于粘合压力管理。

兼容的称重传感器：用于引线键合


TC-USR(T)29 ○○N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T)50N-G
TC-SR(T)100N-G3

目的	压力	压力	压力	压力
模型	TC-USR(T)29 ○○N-G3	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T)50N-G	TC-SR(T)100N-G3
额定容量	50N・100N	50N・100N	50N	100N
负载方向	压缩	压缩	压缩	压缩
特征	过载保护功能	采用高响应型溅射薄膜测量仪	所有公司通用形状 的标准型	所有公司通用形状 的标准型
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TU-MBR(T) ○○N-G3

目的	线材抗拉强度
模型	TU-MBR(T) ○○N-G3
额定容量	2N・5N・10N・20N
负载方向	拉伸/压缩
特征	允许过载500%
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兼容的称重传感器：用于倒装芯片接合/芯片接合


TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG

目的	压力	压力	压力
模型	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T) ○○NG	TC-MFSR(T) ○ ○ NG
额定容量	50N・100N	20N・50N	20N・50N
负载方向	压缩	压缩	压缩
特征	采用高响应型溅射薄膜测量仪	所有公司通用形状 的标准型	特殊形状
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最终检查（处理程序）

进行半导体器件的性能评估和合格/不合格判断。

兼容的称重传感器


TC-NSRSP(T) ○○N-G3
TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T)100N-G3

模型	TC-NSRSP(T) ○○N-G3	TC-SR(T) ○○NG	TC-SR(T)100N-G3
额定容量	50N・100N	20N・50N	100N
负载方向	压缩	压缩	压缩
特征	采用高响应型溅射薄膜测量仪	所有公司通用形状 的标准型	所有公司通用形状 的标准型
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贴片机

它用于控制贴片机的负载，该贴片机用于在电路板安装过程中将电子元件放置在印刷电路板上。

吸附放置板子时测量重量



称重传感器安装在底座底部

兼容的称重传感器


TC-SR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG
TC-USR(T)29 ○○N-G3

模型	TC-SR(T) ○○NG	TC-MFSR(T) ○ ○ NG	TC-USR(T)29 ○○N-G3
额定容量	20N・50N	20N・50N	20N・50N
负载方向	压缩	压缩	压缩
特征	所有公司通用形状 的标准型	特殊形状	过载保护功能
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化学溶液管理

管理液体和气瓶的剩余量。

使用低地板称重传感器平台秤检测气缸重量



兼容称重传感器（秤）


TL-LF
TL-PM
TL-PS
TL-PW

TL-LF

模型	TL-LF
体重	0.4公斤
额定容量	0.6/1/3公斤
允许过载	120%
特征	超小
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TL-PM

模型	TL-PM12	TL-PM18	TL-PM21
体重	0.7公斤	1.4公斤	1.7公斤
额定容量	10/20/50公斤
允许过载	150%
特征	超小
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TL-PS

模型	TL-PS12	TL-PS18	TL-PS21	TL-PS25	TL-PS28
体重	0.8公斤	2.0公斤	2.7公斤	3.8公斤	4.5公斤
额定容量	10/20/50公斤	10/20/50/100/200公斤		10/20/50/100/200/300/400公斤
允许过载	150%
特征	标准型
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模型	TL-PS33	TL-PS42	TL-PS50	TL-PS60
体重	6.2公斤	11.1公斤	16.8公斤	18.2公斤
额定容量	20/50/100/200/300/400公斤	50/100/200/300/400公斤	100/200/300/400公斤
允许过载	150%
特征	标准型
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TL-PW

模型	TL-PW22	TL-PW34	TL-PW43	TL-PW53	TL-PW60
体重	3.4公斤	7.4公斤	12.9公斤	21.9公斤	23.0公斤
额定容量	10/20/50/100/200公斤	20/50/100/200/300/400公斤	50/100/200/300/400公斤	100/200/300/400公斤
允许过载	150%
特征	标准型