半导体制造过程中曝光过程的控制用紫外线传感器UV-300K介绍分析

发布日期：2024-10-28 浏览次数：15

半导体制造过程中曝光过程的控制用紫外线传感器UV-300K介绍分析

用于生产线的高性能紫外线传感器由高度耐用的紫外-可见波长转换玻璃制成
持续监测是否有一定量的光线照射在其上的紫外线传感器。您可以监控灯泡老化情况和不亮灯情况，并适当管理灯泡更换。
通过反馈灯的光强度变化来稳定光强度。
配备两种工作模式：光强模式和积分模式。另外，模拟输出标配电压1～5V/电流4～20mA。此外，还配备了通过示教设置灵敏度和应答功能。

使用示例

曝光设备
灭菌、杀菌

使用目的

紫外线传感器广泛用于多种用途，包括工业过程控制、质量控制、安全改进、效率和环境保护。

半导体制造设备：半导体制造过程中曝光过程的控制
水处理：水杀菌、杀菌过程中紫外线的管理
UV 固化：使用 UV 固化粘合剂进行过程控制
照明：磁粉探伤中紫外光的监测
印刷：验证紫外线是否正确固化油墨和涂料
空气净化：食品工厂等紫外线空气净化的光强度控制。
薄膜：表面改性的紫外线管理

放大器本体规格

格式	紫外-300K
运行指示灯	红色LED（检测输出ON时亮起）
测量光量范围*	UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S [254nm] 0.1 至 30mW/cm2，使用高灵敏度头时：0.01 至 3mW/cm2 [365nm] 3 至 900mW/cm2，使用高灵敏度头时光头：0.3~90mW/cm² UV-T405 [405nm] 300~9,000mW/cm²
外部示教输入外部复位输入	ON：0~1.5V（0V短路电流1mA以下） OFF：开路或4~30V
光量值显示（相对值）	3位LED 光强模式：0-125% 积分模式：0-200%
检测输出应答输出	NPN集电极开路（DC30V、100mA以下）
模拟输出	电压/电流切换 1~5V (0~100%, 6V/125%) 4~20mA (0~100%, 24mA/125%)
检测输出阈值设置	通过开关以 1% 为单位进行设置光强度模式：10 至 100% 积分模式：10 至 200%
灵敏度设置	示教（设置为100%值）最小灵敏度、最大灵敏度、零点设置
电缆	0.15mm² 屏蔽7芯橡胶电缆 φ5.5mm x 2m
重复性	±2%FS以下
温度漂移	0.1%FS/℃以下
使用环境	温度：-25~+55℃/35~85%RH（不凝露、不结冰）
电源电压	DC12~24V±10%（纹波P-P10%以下）
响应时间	300ms以下
消耗电流	50mA以下（不包括输出电流）
大量的	约140克

* 254nm：Oak Manufacturing UV-M02 (UV-25) 365nm：Ushio Inc. UIT-101 (UVD-365PD) 405nm：Oak Manufacturing UV-42

传感头规格

格式※	紫外-T405	紫外-T365	紫外-T254	紫外线	紫外光
特征	耐热			长袖	短袖
监测波长范围	200~330nm、360~420nm、455~476nm、517~600nm	300~380nm	170~380nm
温度漂移	-0.3%/℃以下(at254nm) -0.1%/℃以下(at365nm) -0.06%/℃以下(at405nm)	-0.1%/℃以下
使用环境	温度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不结冰）			温度：-40~+150℃/ 35~85% RH（不凝露、不结冰）
材料	紫外可见波长转换玻璃，SUS
配件	M6螺母、垫圈

* UV-T365和UV-T254具有高灵敏度头UV-T365W和UV-T254W。

导光板规格

格式	紫外光	紫外线F
特征	耐热	自由剪裁
使用环境	温度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不结冰）	温度：-40~+70℃/ 35~85% RH（无凝露、无冻结）
储存温度	-40～+70℃
全长	2m（带防紫外线管）	2m（前端有1m紫外线防护管）
材料	多组分玻璃，SUS	丙烯酸、聚乙烯、SUS