四探针法电阻率测量装置sigma-5+介绍

发布日期：2024-11-05      浏览次数：52

四探针法电阻率测量装置sigma-5+介绍

电阻率测量装置（方块电阻测量装置）

半导体/LCD前工序（检查）

适合专业技术人员的高性能工具。

这是一款手动式测量仪器，采用四探针法，轻松准确地测量太阳能电池硅片、液晶基板、金属薄膜等的方块电阻或体积电阻。它支持从低电阻到高电阻的各种测量。

<应用>

1) 用于硅锭制造→晶圆制造工序（成膜等各种加工工序）的产品检查　

2) 液晶面板（LCD基板）制造：成膜时的产品检查

3) 用于各种导电部件制造过程中的产品检验

可以使用本公司另外配置的“4点探头"进行测量。

型号 sigma-5+






它可以精确测量硅片等的电阻率，还有用于太阳能电池的硅的便携式探头。

这是一款高精度电阻率测量仪器，采用20多年电阻率测量相关的专业知识和技术设计和开发。

可以在半导体基板和导电薄膜基板的研发/检查过程或生产线中高精度地确定和评估薄层电阻值和体积电阻值。

*照片为与样品台RG-5的组合。

【基本规格】

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[特征]

・带有开关功能的智能面板，可进行详细设置

・紧凑的桌面尺寸设计

・从低电阻到高电阻的宽测量范围

・电流极性切换测量可抑制因整流而产生的误差

・每次测量开始时自动调零功能

・自动设定最佳电流的自动量程功能

・试样厚度修正功能

・测量值平均值显示和打印机平均值计算功能

・半导体温度校正功能

・各种温度修正系数输入功能

・带数据打印机接口

・具有数据连接接口

・可选择样品表<基本规格>

■ 手持式薄膜电阻测量装置/薄膜电阻率测量装置



*该产品目前已停产。

手持式方块电阻测量仪SRM-232使用4点探头测量绝缘材料上导电薄膜的方块电阻。此外，电阻率计PV-628可以测量太阳能电池基板等硅半导体的电阻率。所有型号均可保存数据并将数据输出至计算机，并由具有自动断电功能的电池供电。

■ 手持式 ・电阻率测量仪 型号PV-628



PV-628 型是一款便携式 4 点探针测量仪器，专门用于测量太阳能发电用硅的电阻率。由于它采用电池作为电源，因此便于携带，而且不受被测物体形状或尺寸的限制，便于测量。

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