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用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域检测设备分析
这是新系列的传感器式真空计“G-TRAN系列多离子真空计"，可以连接不同测量范围的探头。本产品为BA型电离真空计，可测量超高真空。在继承了宽范围压力测量和低运行成本的传统理念的同时，我们进行了改进，使其更加人性化。
用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制。
用于检查直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力。
用于高真空和超高真空设备中的压力测量
可连接不同测量范围的探头：多离子计允许根据应用选择探头。
紧凑：明显小于传统产品（控制器体积减少 56%），最小级别
提高可用性：可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等
产品阵容丰富：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。
灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝功率，可以提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广：可测量从大气压到高真空区域（1×10 +5～ 5×10 -8 Pa）（连接选购件SWU10-R时）
精确的大气压力测量：可以检查腔室开口的大气压力（当连接可选单元 SAU 时）
| 模型 | SH200-A | SH200-R | SH200-E（预定发售） | |
|---|---|---|---|---|
| 规格 | 标准规格 | 串行通讯规格 | EtderCAT 规格 | |
| 适应性强的多离子规传感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) | |||
| 可连接的传感器 | 多离子压力传感器：1 件 皮拉尼压力计 SWU10-R：1 件（可选） 大气压力传感器 SAU：1 件（可选） | |||
| 重复性（N 2） | SH200单模：±2% | |||
| 采样时间 | 60ms 5次移动平均处理 | |||
| 测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位 压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新时间 | 60毫秒 | |||
| 控制输入信号 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑 * FIL ON/OFF 信号的使用方法因模式而异 | - | - | |
| 控制输出信号 | 传感器错误、设定点 1/2/3、发射有效、 灯丝功率监控 额定值：最大24V 、最大50mA 、饱和电压 1V | - | - | |
| 串行通讯规格 | - | RS232C/RS-485 | 埃特CAT | |
| LED显示屏 | POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化） | |||
| SET1：设定点 1 LED SET2：设定点 2 LED SET3：设定点 3 LED | - | - | ||
| 发射电流 | 1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上） | |||
| 脱气 | 电子轰击法（电子轰击）1mA，330V | |||
| 传感器耐压 | 2×10 + 5Pa（绝对压力） * 必须单独考虑法兰、卡箍等的耐压性能。 | |||
| 传感器内容积 | 17厘米3（M-44）、19厘米3（M-45）、17厘米3（M-46） | |||
| 工作温度范围 | 10～50℃ | |||
| 工作湿度范围 | 15 至 80%（无冷凝） | |||
| 储存温度 | -20～65℃（不通电时不结露） | |||
| IP防护等级 | IP30 | |||
| 电源电压 | DC20~28V（纹波、噪声1%以下），8W以下 | |||
| 输入/输出连接器 | D-sub15针（M2.6螺丝） | |||
| 大量的 | 控制器：约280g 测量点（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g | |||
| 外形尺寸 宽×深×高 | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 兼容标准 | C.E. | |||
| 选项 | 多离子计传感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材质：灯丝 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni电镀 | ||
| 皮拉尼压力计 | SWU10-R *也兼容传统SPU | |||
| 皮拉尼压力传感器 | SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (Φ18 管端)、SWP-P15 (Φ15 管端) 材质：灯丝 - Pt、其他 - BS/Ni，镀层，Ni，焊料 | |||
| 大气压力传感器 | SAU(NW16) 材质：SUS316L | |||
| 单元电缆 | GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2m GUC-200A（用于 SAU）：0.5m、1m、2m | |||
| 显示单元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供电） | |||
| 显示单元电缆 | SH200至显示单元电缆 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 连接器 | 输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺丝）） | |||
| 其他的 | 检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书 | |||
SH200-A/SH200-R/SH200-E可采用三种方式使用：多油表独立模式、与皮拉尼表组合模式、皮拉尼表与大气压力传感器三重组合模式。
| 模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E 单模 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 组合模式 | SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 组合模式 |
|---|---|---|---|
| 测量压力范围 | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +5 Pa |
| 测量精度 | 5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa： ±15% | 5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4～1.0×10 + 5Pa：±20% | 5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10 % 1.0×10 +4 ~3.0×10 +5 Pa: ±3%FS (3.0×10 +3 Pa·参考温度25℃) |
| 连接图 |  |  |  |
| 测量压力范围图像 |  当需要“大气压力"确认时，例如打开腔室时，使用三重组合。 | ||
| 电脑用 | ULVAC SHOWCASE（网站）在此下载 |
| 用于智能手机 | 从 Google Play 下载 |
| 电脑 | Windows10 64位或更高版本 |
| 手机 | Android 6 或更高版本，USB TypeC |
