日本toray氧化锆式氧气浓度计的测量原理
两侧带有电极的氧化锆陶瓷具有在高温下使一个电极上的氧分子电离并在另一电极上使氧离子返回到氧分子的特性。该特性称为离子传导,并且随着氧化锆陶瓷的两侧的氧浓度差的增加,离子传导的程度增加。在此期间,电子在两个电极之间转移,并且可以提取离子传导程度(=氧化锆陶瓷两侧的氧浓度差)作为两个电极之间的电动势大小。如下图所示,根据Nernst的理论公式,该电动势可以获得稳定的值,因此Toray氧化锆传感器可以显示稳定可靠的氧气浓度值。
采用 |
兼容机型 |
解释 |
其他选择 |
半导体,液晶, |
MS-500 |
用于安装在半导体制造设备等上,多可测量8个点 |
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LC-450A |
兼容ppm级测量,交流电源类型 |
·活性炭过滤器 ·硅滤光片 ·棉滤芯 |
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LC-450D |
支持ppm阶次测量,直流电源类型 |
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LC-860 |
支持ppb订单测量,交流电源类型 |
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SD / LD-450 |
真空室安装类型(用于设备安装) |
交流电源单元:DU-450 |