半导体晶圆的加工用高亮度卤素光源装置-YP-150I/YP-250I

发布日期：2021-04-09 浏览次数：749

半导体晶圆的加工用高亮度卤素光源装置-YP-150I/YP-250I



高亮度卤素光源设备是一种宏观观察照明设备，用于检测各种缺陷，
例如异物，划痕，抛光不均匀，雾度和终成品表面上的打滑，这在半导体晶圆的加工过程中是费力的工作和液晶基板.

概述

　　1.样品表面的照明度可达到400,000 Lx以上。

　　2.由于使用卤素灯作为光源，因此色温高，几乎没有不均匀的照明，并且照明
　　　　非常稳定且清晰。

　　3.通过使用冷镜，可以将热量的影响极大地
　　　　降低到传统铝镜的1/3。

　　4.两阶段切换机制使您可以通过一次触摸在高光观察和低光观察之间进行切换
　　　　。
　　　　YP-150I ・ ・ ・照度范围φ30YP-250I ・ ・
　　　　・照度范围φ60
　　　　（YP-250I可以从螺旋桨式风扇和风管式风扇中选择）。

标准构成如下。

照度：照射距离　310mm、照射直径径　55mmφ时照度在　400，000　Lux以上）

光源：直流点灯　17V/185W　卤素灯

照度调整：连续可调至照度的　20%

冷却方式：强制空冷

使用温度范囲：0～40℃

电源电圧：AC　95V～AC　260V，50/60Hz

功率：250W

尺寸：光源　136mm　H×112mm　W×150mm　D

电源　229mm　H×90mm　W×250mm　D

重量：光源2.3kg

电源3.6kg

立杆5.0kg