日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050介绍说明

发布日期：2021-05-14 浏览次数：1208

日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050介绍说明



Mila-5050是一款桌面型的快速退火炉，可用于处理φ50mm以内的样品。
用于处理φ20mm以内的Mila-5000系列自推出以来深受客户的认可。随着客户对大尺寸样品处理需求，Advance Riko在Mila-5000的基础上推出可处理φ50mm样品的MILA-5050。MILA-5050延续了MILA5000的紧凑设计，是一款集成加热炉，加热腔及温控器与一体的桌面型快速退火炉。

用途

• 硅片和复合圆晶的快速退火
• 电子材料的快速热退火，例如光学CVD的基板
• 玻璃基板，陶瓷和复合材料等的热处理
• 热循环测试
• 金属材料的热退火
• 涂膜的耐热性评估
• 有机材料和树脂的加热和干燥

特长

• 可对φ50mm以内的样品进行热处理
• 高热处理温度1200℃
• 集成加热炉，加热腔及温控器与一体的桌面型设计
• 搭配水冷循环腔体，可进行洁净的快速升降温。
• 通过USB连接，可将温控程序输入到电脑
• 加热过程中可通过电脑监测温度数据；

规格

控温范围	RT ～ 1200 °C
升温速率	50 °C/s
样品尺寸	□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
气氛	真空，流动气氛