适用镍，铬，钨，钛，铝等金属涂布的实验涂布机

发布日期：2021-05-27 浏览次数：603

适用镍，铬，钨，钛，铝等金属涂布的实验涂布机



特征


• 直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
• 配备皮拉尼真空计，以确保成膜条件的可重复性
• 配备手动百叶窗作为标准装备
• 使用的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。
• 由于可以涂钨，因此也可以用于制备高分辨率SEM的样品。

应用/结果示例

• 各种设备的电极膜附件
• 用于制造反射薄膜等的应用

基本规格


阴极	φ2英寸直流磁控管/平板型电极
适用对象	金/铂/金-钯/铂-钯/银/钯/钨/镍/钼/铬/钛/铝
压力测量	皮拉尼真空计
压力控制	针阀手动控制 引入直径外径φ6mm一键式安装
工艺气体	氩气
真空泵	直联式旋转泵：20L / min（带自动泄漏）
箱体尺寸	内径φ90×D90mm（SUS制）
样品交换方法	前门开合式
尺寸（宽/深/高）	机身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量	身体：9公斤RP：9公斤