日本东丽氧化锆式氧气计在半导体行业的运用

发布日期：2021-06-25 浏览次数：554

日本东丽氧化锆式氧气计在半导体行业的运用

氧气表半导体/液晶/电子元件相关应用半导体、电子元件用氧分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

氧气计 MS-500



• 多可同时测量 8 个点
• 可以显示从 ppm 级到 99% 的各种浓度。
• 适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。
• 传感器为直插式（NW 法兰用于真空 16/25/40）
• 高度耐用的传感器采用特殊涂层，以进一步提高耐用性。

氧气计LC-450A、LC-450D



• 
  可以显示从测量的ppm 水平到 99% 的广泛浓度范围。
• 提高传感器的耐用性
  氧传感器经过特殊处理以提高其耐用性。
• 交流宽电源 AC100-240VAC (LC-450A)
  * LC-450D由24V DC驱动
• 紧凑且易于安装
  深度比我们的传统型号更短，并且不占用太多空间。
• 符合 RoHS 指令的产品
• CE标志自我声明产品
  EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

氧气计LC-860



• 低浓度测量 可测量从
  ppb级到99%
• 操作简单
  按键操作简单
• 吹扫功能
  比较 气体更稳定，测量精度更高（仅限带吹扫功能的规格）。
• 高可靠性传感器 传感器
  内部也可进行劣化防止处理（可选）