日本toray氧气计在半导体/液晶/电子元件上的相关应用

发布日期：2021-08-24 浏览次数：628

日本toray氧气计在半导体/液晶/电子元件上的相关应用

MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860




氧气计 MS-500



• 多可同时测量 8 个点

• 可以显示从 ppm 级到 99% 的各种浓度。

• 适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。

• 传感器为直插式（NW 法兰用于真空 16/25/40）

• 高度耐用的传感器采用特殊涂层，以进一步提高耐用性。

MS-500 设备规格

测量原理			氧化锆浓缩电池供电
形状			分离式（转换器：壁挂式，传感器：直插式）
显示方式			数字4位显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O2　10-20~ 10-0atm 自动量程
重复性			在 ± 0.5% FS 0-1% 范围内或更多 ± 1% FS 或更少或 ± 0.1ppm更大 0-1% 范围小于0-1ppm，atm 范围超出保证浓度范围
测量点数			1-8
样气条件	压力		10-3～ 200 KPa（绝压）
	流量		0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min（自然扩散状态的测量）
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0-100℃
	其他		不含腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比较气体			气氛
录音机输出			仅传输输出
传输输出			RS-232C
报警输出			没有
预热时间			6分钟内
尺寸	MS-500（控制器）		92 (W) x 44 (H) x 120 (D)（不包括突出部分）
	MS-510（转换器）		100 (W) x 40 (H) x 88 (D)（不包括突出部分）
	传感器单元	SD16NW	全长100mm（感应部分Φ11×39，本体部分Φ40×51）
		SD25NW	全长100mm（感应部分Φ11×42，本体部分Φ40×48）
		SD40NW	全长100mm（感应部分Φ11×41，本体部分Φ40×49）
质量	MS-500（控制器）		约0.6Kg
	MS-510（换能器）		约0.5kg
	传感器单元	SD16NW	约0.2Kg
		SD25NW	约0.2Kg
		SD40NW	约0.35Kg
外部连接			真空法兰之一（NW16、25、40）
使用的电源			24VDC ± 10%

氧气计LC-450A、LC-450D



• 
  可以显示从测量的ppm 水平到 99% 的广泛浓度范围。

• 提高传感器的耐用性
  氧传感器经过特殊处理以提高其耐用性。

• 交流宽电源 AC100-240VAC (LC-450A)
  * LC-450D由24V DC驱动

• 紧凑且易于安装
  深度比我们的传统型号更短，并且不占用太多空间。

• 符合 RoHS 指令的产品

• CE标志自我声明产品
  EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003

LC-450A 设备规格

测量原理			氧化锆浓缩电池供电
形状			桌面型/面板安装型
显示方式			数字4位显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O2　10-20~ 10-0atm 自动量程
重复性			± 1% FS 0-1ppm内，atm范围超出保证浓度范围
抽样方法			内置泵连续吸入型
样气条件	压力		加压30KPa以下
	流量		1,000-2,000 毫升/分钟
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0-50℃
	其他		不含腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比较气体			气氛
录音机 输出	氧气浓度输出		在 4-20mA 和 0-20mA 之间切换（可选 0-10V） 绝缘，负载电阻 550Ω 或更少 记录仪输出范围是满量程，线性输出到氧气浓度
	输出范围		0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定量程
传输输出			RS-232C
报警输出	FAIL（设备错误）	1分	无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因设备异常接点闭合（接点动作可变更）
	ALM（浓度报警）	2 分（高 / 高）	无电压接点，接点容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下， 发生报警时接点闭合（接点动作可变更）
	RDY（预热信号）	1分	无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 无电压接点的小开关容量为12V以上，无法处理微小负载。
	MRK（范围标记）输出	2分	无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下
预热时间			5分钟内
尺寸	身体		210 (W) x 134 (H) x 300 (D) mm（不包括突出部分）
质量			约6kg
气体 连接口	入口		RC1 / 4
	旁路输出		RC1 / 4
	奥特莱斯		RC1 / 4
使用的电源			100-240VAC, 50VA (稳定: 35VA) 50Hz / 60Hz

LC-450D 设备规格

测量原理			氧化锆浓缩电池供电
形状			桌面型/面板安装型
显示方式			数字4位显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O2　10-20~ 10-0atm 自动量程
重复性			± 1% FS 0-1ppm内，atm范围超出保证浓度范围
抽样方法			内置泵连续吸入型
样气条件	压力		加压30KPa以下
	流量		~ 1,500L/分钟
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0-50℃
	其他		不含腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比较气体			气氛
录音机 输出	氧气浓度输出		0-10VDC，绝缘，负载电阻600kΩ或多个 （可选：4-20mA的DC，绝缘，负载电阻550Ω或更小） 记录器输出范围是满量程和线性输出到氧浓度
	输出范围		0-99%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm 自动/固定量程
传输输出			RS-232C
报警输出	FAIL（设备错误）	1分	无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因设备异常接点闭合（接点动作可变更）
	ALM（浓度报警）	2 分 (L / LL)	无电压接点，接点容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下， 发生报警时接点闭合（接点动作可变更）
	RDY（预热信号）	1分	无电压接点，接点容量 30VDC/AC 以下，0.5A 以下 预热运行时接点闭合（接点动作可变更） 无电压接点的小开关容量为12V或20mA以上，无法处理微小负载。
	MRK（范围标记）输出	2分	无电压接点，接点容量30VDC/AC以下，0.5A以下
预热时间			5分钟内
尺寸	身体		240 (W) x 134 (H) x 210 (D) mm（不包括突出部分）
质量			约5公斤
气体 连接口	入口		RC1 / 8
	旁路输出		RC1 / 8
	奥特莱斯		RC1 / 8
使用的电源			24VDC ± 10%，1.25A（30VA，稳态）

氧气计LC-860



• 低浓度测量 可测量从
  ppb级到99%

• 操作简单
  按键操作简单

• 吹扫功能
  比较 气体更稳定，测量精度更高（仅限带吹扫功能的规格）。

• 高可靠性传感器 传感器
  内部也可进行劣化防止处理（可选）

LC-860 设备规格

测量原理			氧化锆浓缩电池供电
形状			桌面型/面板安装型
显示方式			数字6位显示（浓度显示）
测量范围			0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O2　10-20~ 10-0atm 自动/固定量程
重复性			氧浓度在±1%FS以内，小于1ppm和0-1ppm，atm范围在保证浓度范围之外
抽样方法			内置泵连续吸入型
样气条件	压力		加压30KPa以下
	流量		~ 1,500 毫升/分钟
	湿度		露点低于环境温度
	温度		0-50℃
	其他		不含腐蚀性气体（氟系气体、氯系气体、硫系气体等）、含有机硅的气体、可燃成分（包括瓦斯）、油、水。
比较气体			气氛
录音机 输出	氧气浓度输出		4-20mA / 0-10V 4-20mA : 绝缘，负载电阻 600Ω 或更小 0-10V: 绝缘，负载电阻 500Ω 或更大 记录仪输出范围是满量程，线性输出到氧浓度
	输出范围		0-99%, 0-10%, 0-1%, 0-1000ppm, 0-100ppm, 0-10ppm, 0-1ppm, 10-20-10-0　或任何4个范围的自动/固定范围
传输输出			RS-232C
报警输出	FAIL（设备错误）	1分	无电压接点，接点容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因设备异常接点闭合（接点动作可变更）
	ALM（浓度报警）	2分	无电压接点，接点容量 24VDC/AC 以下，0.1A 以下， 发生报警时接点闭合（接点动作可变更）
	RDY（预热信号）	1分	无电压接点，接点容量 24VDC/AC 以下，0.5A 以下 预热动作时接点闭合（接点动作可变更） 无电压触点的小开关容量为12V以上，无法处理微小负载。
	MRK（范围标记）输出	3分	无电压接点，接点容量24VDC/AC以下，0.1A以下
预热时间			20分钟内
尺寸	身体		288 (W) x 144 (H) x 400 (D) mm（不包括突出部分）
质量			约10公斤
气体 连接口	入口		RC1 / 8
	旁路输出		RC1 / 8
	奥特莱斯		RC1 / 4
使用的电源			100-120VAC ± 10% 200VA 50Hz / 60Hz