2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω技术解析

发布日期：2021-09-28 浏览次数：694

2ω法纳米薄膜导热仪TCN-2ω技术解析



该装置是目前世界上唯yi使用2ω法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用装置。与其他方法相比，样品制作和测量更容易。

用

• 量化低K绝缘膜的热阻，用于半导体器件的热设计

• 绝缘膜的开发与散热的改善

• 热电薄膜应用评价

特征

• 可以测量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的热导率。

• 使用热反射法通过温度幅度检测实现测量

• 测量样品的简单预处理

规格

测量温度	转播时间
样品尺寸	宽度 10 毫米 x 长度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米（板）
测量气氛	在真空中