Profilm3D 3D 表面形状测量系统使用示例

Profilm3D 3D 表面形状测量系统使用示例



它是一个使用白光干涉技术的系统，可以无接触地测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。

Profilm 3D 适用于测量小样品，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产品更紧凑、更便宜。
各种测量模式，包括适合高精度测量微米级台阶和形状的垂直扫描干涉测量法 (WLI) 和适合测量纳米级形状和粗糙度的相移干涉测量法 (PSI)。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜的左轮、自动载物台以及便于操作、分析和管理测量数据的软件。

主要特点

• 低价！
  在配备所有必要功能的同时实现低价

• 纳米级高分辨率
  采用相移干涉法实现高分辨率

• 全标准设备
  XY自动载物台，手动左轮，自动光强调节，自动对焦功能

• 紧凑的外壳
  主体的占地面积为 30 x 30 cm 的紧凑设计。

• 配备 WLI 和 PSI 两种测量模式 一台设备即可
  测量台阶测量和粗糙度测量

• 操作
  简单 基本操作只是简单的鼠标操作

• 符合 ISO 标准的粗糙度测量符合
  标准 ISO25178

• 可扩展性
  多种物镜选择，数据拼接功能

主要应用

半导体	晶圆凸块、CMP焊盘等
医疗领域	注射针、人工关节、支架等
安装板	铜线、凸点、透镜等

规格

测量规格

	垂直扫描白光干涉测量法 (WLI)	相移干涉测量 (PSI)
测量范围	50 纳米 – 10 毫米	0 – 3 微米
准确性	0.7%	——
再现性	0.1%	——
反射范围	0.05% – 99%	0.05% – 99%

设备规格

XY自动载物台	100mm x 100mm
Z轴驱动范围	100mm
压电驱动范围	500微米
扫描速度	12微米/秒
相机	2592 x 1944（500 万像素）
体重	15公斤

物镜规格

	5次	10倍	20次	50次	百倍
视野	4.0 x 3.4 毫米	2.0 x 1.7 毫米	1.0 x 0.85mm	0.4 x 0.34mm	0.2 x 0.17mm
镜头分辨率	2.1微米	0.92微米	0.69 微米	0.5微米	0.4微米


凑、更便宜。