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可安装在量产设备中的膜厚检测仪AFW-100W

  • 发布日期:2021-10-25 浏览次数:730
    • 可安装在量产设备中的膜厚检测仪AFW-100W

      推荐使用反射光谱膜厚计用于膜厚测量应用,例如硬涂层。

      [机理]

      样品受到光照射时,它会根据膜厚显示出*的光谱。薄膜表面反射的光与穿过薄膜并在基板表面反射的光相互干扰。当光的相位匹配时,强度增加,而当光相移时,强度降低。反射计是一种通过分析该光谱来测量薄膜厚度的方法。

      [优点]

      -与 SEM 和触针式轮廓仪不同,无需接触即可进行测量。
      - 与椭偏仪相比,便宜且易于使用。

      将来也可以安装在量产设备中。

      模型 AFW-100W
      对于一般膜厚
      设备配置 单元主体、测量台、2 分支光纤 (1.5m)、PC
      测量波长范围 380-1050nm
      膜厚测量范围 100nm~1μm(曲线拟合法)
      1 μm 至 60 μm (FFT)
      测量再现性 0.2%-1%(视胶片质量而定)
      测量光斑直径 约7mm
      光源 12V-50W卤素灯
      测量理论 曲线拟合法/FFT法
      外形尺寸 (mm) 测量台:W150 x D150 x H115
      机身:W230 x D230 x H135
      大约重量 5.5kg * 不包括 PC
      公用事业 AC100V 50 / 60Hz
      轰天猛将 卤素灯


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